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용융석영 트레이, 베이스 및 웨이퍼 보트 웨이퍼 가공용
맞춤형 용융석영 트레이, 베이스 및 웨이퍼 보트는 웨이퍼 취급을 위한 습식 벤치, 식각, CVD/확산, 세정 및 고온 공정에 맞춰 설계되었습니다. 고순도 용융석영으로 제작되며 도면에 따라 정밀 가공된 이 캐리는 뛰어난 열 안정성, 화학적 비활성, 매끄러운 접촉면 및 중요한 환경에서의 깨끗한 성능을 제공합니다.
견적에 필요한 정보
- 도면(PDF/STEP) 또는 주요 치수(길이 × 너비 × 높이, 벽 두께)
- 웨이퍼 크기 및 용량(슬롯/포켓/포스트 배치, 피치, 간격)
- 필수 기능: 배수 구멍, 넘침 제방, 리브, 손잡이, 다리/스탠드오프, 뚜껑, 식별 마크.
- 모서리 및 표면 마감 요건(모따기/베벨, 연삭된 표면 또는 연마된 표면)
- 작업 환경(화학물질, 습식 벤치/열처리 공정), 최대 온도, 목표 청정도
- 주요 공차와 평탄도/평행도 목표
- 수량(프로토타입 또는 배치), 필요한 검사 보고서 및 포장 수준
주요 사양
- 재질: 고순도 용융석영(SiO₂); 재료 인증서는 요청 시 이용 가능
- 형상: 직사각형/타원형/원형 트레이, 받침대 및 웨이퍼 보트; 도면에 따라 통합된 슬롯, 포켓, 포스트 또는 리브.
- 치수: 도면에 따라(주문 생산). 벽 두께는 균일하고 필요에 따라 보강 구역이 있습니다.
- 표면 마감: 화염으로 연마된 림. 입자 생성 최소화를 위해 내부 표면은 연마되거나 다듬어져 있습니다; 모서리의 버를 제거하고 매끄러운 필렛을 구현합니다.
- 슬롯/포스트 기능 맞춤 슬롯 수와 피치, 포켓 깊이, 포스트 직경/높이; 웨이퍼를 보호하기 위한 모서리 라운딩
- 배수 및 흐름: 배수 구멍, 홈 또는 오버플로 위어가 효율적인 화학적 교환 및 건조를 위해 설계되었습니다。
- 취급 기능: 손잡이, 정렬용 홈, 안정한 배치를 위한 다리/스탠드오프. 선택적 레이저 ID 및 플로우 마크.
- 구조: 정밀 가공 및 화염으로 용융된 어셈블리; 스트레스 완화 어닐링 가능
- 청결도: 초음파/DI 린스; Class-100 호환 패키징
재료 특성(대표값)
- 클린룸 용도에 적합한 고순도와 낮은 가스 방출
- 대부분의 산/염기 및 유기 용매에 대해 탁월한 화학적 저항성을 가집니다. 참고: 용융석영은 HF에 대해 내성이 없습니다
- 매우 낮은 열팽창, 우수한 열충격 저항 및 고온에서의 안정성.
- 전기 절연 및 높은 표면 품질
가공 및 설계 메모
- 응력을 줄이려면 벽 두께를 일정하게 하고 내부 반경을 충분히 크게 하십시오
- 하부 리브 또는 프레임은 대형 형식에서 강성과 평탄도를 향상시킬 수 있습니다
- 표면 마감(연삭/연마)은 공정의 청정성 및 취급 필요성에 따라 선택됩니다.
- 크기와 기하학에 따라 슬롯/피치의 균일성, 평탄도 및 평행성에 대한 실용 공차를 제안할 수 있습니다.
검사 및 시험
- 치수 검사: 길이/너비/높이; 슬롯/포스트 피치와 높이. 포켓 깊이; 평탄도/평행도
- 육안 검사: 칩, 균열, 포함물 및 오염 여부를 100% 검사
- 선택사항: 이중굴절/응력 검사. 표면 마감 검증 및 청정도 검증 보고서.
용도
웨이퍼 세정 및 식각, 웨트 벤치 가공. CVD/확산/어닐링의 배치 로딩, 웨이퍼 운송 및 임시 보관, 정밀 화학 처리
포장 및 보관
정전기 방지 진공 밀폐 포장으로 충격 흡수 폼과 견고한 외부 보호재가 포함되어 있습니다. 보관은 건조한 상태(<40% RH)에서 10–30 °C로 보관하십시오. 저장 중 HF를 함유한 화학물질은 피하십시오.
비고
맞춤 구성(홀 패턴, 코팅 또는 추가 마킹)은 요청 시 제공됩니다.
대량 주문 시 적합성 증명서(RoHS, ISO 9001) 제공
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