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용융석영 지지대 및 프로세스 홀더
용융석영은 웨이퍼 가공, CVD, 플라즈마 도구, 웨트 벤치 및 고온로를 위해 설계된 지지대, 프레임 및 홀더를 제공합니다. 고순도 용융석영으로 제작되고 정밀 화염융합으로 조립된 이 구체들은 뛰어난 열적 안정성, 화학적 비활성성 및 엄격한 치수 제어를 제공하여 중요한 환경에서 깨끗하고 안정적인 지지 및 신뢰할 수 있는 취급을 가능하게 합니다.
견적에 필요한 정보
- 도면(PDF/STEP) 또는 주요 치수: 전체 크기, 레일/바 직경, 스탠드오프 높이, 인터페이스 포인트
- 페이로드 및 인터페이스: 보관 대상 부품의 크기/무게(wafer/boat/substrate). 접촉점 수와 목표 클리어런스
- 사용 모드: 정적 지지대 대 전송/로봇 취급; 장착 패턴 또는 훅/발 디자인
- 환경: 화학 물질, 진공/압력, 최대 온도 및 열 사이클 프로파일
- 표면 및 접촉: 연마된 패드 vs 그라인드 마감; 모서리 반경/절단면으로 긁힘 방지
- 핵심 공차: 평탄도/직각도, 평행도, 하중에서의 허용 처짐
- 수량(프로토타입 또는 로트), 검사 보고서 필수, 포장/청정도 수준
주요 사양
- 재질: 고순도 용융석영(SiO₂); 재료 인증서는 요청 시 이용 가능
- 형상: 프레임, 랙, 크래들, 캐리어, 브래킷 및 교차 보강 지지대; 모놀리식 또는 불꽃 융합 어셈블리
- 치수: 도면대로(주문 제작) 열적 안정성을 위한 균일한 단면 두께
- 특징: 스탠드오프/다리, 레일, 탭/후크, 정렬 키 또는 핀, 경량화 포켓, 배수/환풍 구멍
- 구조: 정밀 가공으로 매끄럽고 칩이 남지 않는 이음부를 제공합니다. 응력 완화 어닐링이 가능합니다.
- 표면 마감: 화염으로 연마된 모서리; 긁힘 없이 다룰 수 있도록 연마된 접촉 패드; 모든 접촉점의 반경에서 버를 제거
- 청결도: 초음파/DI 세척; Class-100 호환 포장; 옵션 레이저 부품 ID/방향 마크
재료 특성(대표값)
- 매우 낮은 열팽창률과 우수한 내열 충격 내성
- 대부분의 공정 매체에 대한 우수한 화학적 내성(참고: HF가 용융석영을 침식함)
- 전기적으로 절연되며 저가스 방출이 적음; 오염에 민감한 도구를 위한 광학적으로 깨끗한 표면。
가공 및 설계 메모
- 벽 두께와 막대 두께를 균일하게 유지하고 이음부에 충분한 필렛을 추가하여 응력 집중을 최소화하십시오
- 접점 패드의 크기/마감 및 페이로드에 대한 허용 간격을 정의하여 마이크로칩 및 입자 트랩을 방지한다
- 강성 및 낮은 처짐이 중요한 경우 십자형 보강재나 리브를 사용하십시오; 하중에서의 목표 처짐을 지정하십시오
- 가상 누출을 방지하기 위해 진공에 노출된 맹공간/구멍을 환기시키십시오
- 크기, 형상 및 하중에 따라 평탄도, 직각도, 평행도 및 런아웃에 대한 실용 공차를 제시할 수 있습니다.
검사 및 시험
- 치수 확인: 전체 치수, 스탠드오프 높이, 레일/로드 간격, 구멍 위치; 직각도와 평행도 점검
- 육안 검사: 칩, 마이크로크랙, 인클루전 및 오염에 대한 100% 검사.
- 선택 사항: 복굴절/응력 평가; 하중/처짐 시험; 청정도 보고서
용도
웨이퍼 보트 및 기판 지지대, 가마의 핫 존 프레임, 웨트벤치 랙 및 캐리어, 로봇 또는 수동 취급용 이송 고정구, CVD/에칭/클린 도구 내의 정렬 및 간격 고정구.
포장 및 보관
접촉 끝의 보호 캡, 모서리 가드 및 구분자; 정전기 방지, 진공 밀봉 포장으로 견고한 외부 보호. 건조 상태(<40% RH)에서 10–30 °C로 보관하고 HF를 함유한 화학 물질은 피하십시오.
비고
맞춤 구성(홀 패턴, 코팅 또는 추가 마킹)은 요청 시 제공됩니다.
대량 주문 시 적합성 증명서(RoHS, ISO 9001) 제공
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