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용융석영 분사 및 반응 챔버
용융석영으로 만든 스프레이와 반응 챔저는 고순도 반도체, 화학 및 실험실 공정용으로 설계되었습니다. 초고순도 용융석영으로 만들어지고 정밀 화염융합으로 조립된 이 용기는 화학적 비활성, 열적 안정성, 그리고 중요한 환경에서 가스/액체 공급, 혼합 및 체류 시간의 깨끗하고 정밀한 제어를 제공합니다.
견적에 필요한 정보
- 도면(PDF/STEP) 또는 핵심 치수. 용기 직경/높이, 벽 두께, 돔형 뚜껑/평평한 뚜껑 형태
- 포트 및 연결: 수량, 위치 및 크기; 결합 유형(테이퍼/볼 소켓), 호스 바브, 또는 KF/ISO/CF 플랜지
- 내부 특징: 분사 노즐 유형, 침투 튜브 또는 확산기, 배플/혼합기, 유량 분배기, 배수/섬프 기하학
- 공정 조건: 화학약품/가스, 목표 유량, 진공/허용 압력, 최대 온도, 청정도 수준
- 계측/창: 써모웰, 시야/뷰포트, 샘플링 포트; O-링 홈 또는 실링 랜드 요건
- 중요 공차: 씰링 면의 평탄도/평행도, 넥과 포트의 동심도 및 런아웃
- 수량(프로토타입 또는 배치), 필요한 검사 보고서 및 포장 수준
주요 사양
- 재질: 고순도 용융석영(SiO₂); 재료 인증서는 요청 시 이용 가능
- 구성: 원통형 또는 구형 돔 챔버; 단일 포트 뚜껑 또는 다포트 뚜껑. 통합 매니폴드 또는 라이저; 배수/썸프 옵션.
- 연결: 연마된 유리 조인트, 볼-소켓 연결, 호스 바브, KF/ISO/CF 플랜지 또는 맞춤형 어댑터
- 내부 하드웨어: 스프레이 노즐/인젝터, 침지 튜브, 디퓨저/스파저, 배플, 유동 정렬기—도면에 따라
- 구조: 정밀 가공은 화염으로 용융된 전이를 특징으로 하며, 응력 완화 어닐링이 가능합니다.
- 표면 & 청결: 매끈하고 칩이 없는 젖은 표면; 초음파/DI 세척; Class-100 호환 포장
- 서비스 노트: 진공 또는 저압 서비스용으로 설계되었습니다. 모든 압력 등급은 설계 및 시험에 따라 다릅니다.
재료 특성(대표값)
- 탁월한 화학적 저항성과 낮은 추출성(참고: HF는 용융석영을 공격합니다)
- 매우 낮은 열팽창과 우수한 열충격 내성
- 전기적으로 절연되고 광학적으로 투명하며 가스 방출이 적다 — 고순도용에 이상적입니다.
가공 및 설계 메모
- 접합부에는 여유 있는 반경을 사용하여 응력과 입자 트랩을 줄이고. 젖은 표면을 연마하여 박리를 최소화합니다
- 노즐과 배플을 지정할 때 분사 패턴/각도, 목표 방울 크기 및 체류 시간 목표를 정의하십시오
- 진공 작동 중 가상 누출을 방지하기 위해 블라인드 캐비티와 나사산 형상에 통풍 구멍을 추가한다
- 액체 체류를 방지하기 위해 배수 기울기와 저류 구성을 제공하고 필요 시 역류 방지 기능을 고려하십시오
- 하류 배관 및 유지 보수 관행에 맞는 연결 표준을 선택하십시오.
- 사이즈/기하학에 따라 씰링 면의 평탄성, 포트의 동심성, 및 정렬에 대한 실용 공차를 제안할 수 있습니다.
검사 및 시험
- 치수 검증: 용기 크기, 포트 위치들, 넥 동심도, 밀봉면의 기하학.
- 선택적 시험: 헬륨 누설 시험(진공 어셈블리). 유량/유지 또는 압력 감소 시험은 설계에 따라.
- 육안 검사: 칩, 마이크로크랙, 인클루전 및 오염에 대한 100% 검사.
- 선택적 복굴절/응력 평가 및 청정성 인증
용도
ALD/CVD용 전구체 분사 및 혼합, 습식 화학 스프레이/에칭/린스, 증기-액체 접촉, 마이크로 반응기, 가스 세척, 그리고 고순도와 시각적 접근이 필요한 분석/실험 시스템
포장 및 보관
포트용 보호 캡; 정전기 방지 기능이 있는 진공 밀봉 포장으로 충격 흡수 폼과 단단한 외부 보호를 제공합니다. 건조한 상태로 보관하시고 (<40% 상대 습도) 10–30 °C에서 HF를 포함하는 화학물질은 피하십시오.
비고
맞춤 구성(홀 패턴, 코팅 또는 추가 마킹)은 요청 시 제공됩니다.
대량 주문 시 적합성 증명서(RoHS, ISO 9001) 제공
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