전화 주세요: +86 0518-87284110
용융 석영 반응로, 열교환기 및 버블러
맞춤 제작된 용융석영 반응기, 열교환기 및 버블러로 반도체 도구, 화학 처리 및 실험실 용도에 맞게 설계되었습니다. 초고순도 용융석영으로 구성되고 정밀한 화염융합으로 조립된 이 복합 부품은 뛰어난 내화학성, 열적 안정성, 진공 및 고온 환경에서의 깨끗하고 정밀한 유체/증기 취급을 제공합니다.
견적에 필요한 정보
- 도면(PDF/STEP) 또는 주요 치수 및 배치(튜브 외경/내경/길이, 코일 또는 번들 기하학, 용기 크기)
- 공정 조건: 가스/화학물질, 최대 온도, 진공도/허용 압력, 목표 유량 및 열 부하
- 연결 유형: 그라운드 글래스 조인트, 볼/소켓, KF/ISO/CF 플랜지 또는 맞춤 어댑터
- 내부 특징: 디ップ 튜브 길이, 스파저/다공 구멍 확산기, 배플, 코일/재킷, 써모웰/시야 포트.
- 임계 공차: 동심도, 직선도, 평행도, 누설률 규격
- 수량(프로토타입 또는 배치). 검사 보고서 필요; 포장/청정도 수준.
주요 사양
- 재질: 고순도 용융석영(SiO₂); 재료 인증서는 요청 시 이용 가능
- 구성:
반응기: 직선형 용기 또는 재킷형 용기, 다중 포트 매니폴드, 일체형 코일 또는 배플.
열교환기 코일 형식, 나선형 또는 튜브-인-튜브 형식; 다중 튜브 번들; 입구/출구 매니폴드
버블러들: 내부 디ップ 튜브/스파저를 갖춘 단일 포트 또는 이중 포트 설계; 액면 위의 증기 배출구 - 연결: 표준 원추형 커넥션, 볼-소켓 결합, KF/ISO/CF 플랜지, 호스 바브, 또는 커스텀 종단부.
- 조립: 정밀 플레임 융합 이음매 및 전이; 응력 완화 어닐링 가능
- 표면 및 청결도: 매끄럽고 칩이 없는 모서리; 초음파/DI 세척; 클래스 100 호환 포장
- 설계 한계 도면에 따라; 진공 또는 저압 서비스에 적합—압력 등급은 설계 및 시험 계획에 의해 정의됩니다.
재료 특성(대표값)
- 예외적인 화학적 비활성(참고: HF가 용융석영을 공격합니다)
- 높은 열 안정성 및 매우 낮은 열팽창
- 전기적으로 절연되어 있고, 가스 방출이 적습니다; 고순도 서비스에 적합한 광학적으로 깨끗한 표면.
가공 및 설계 메모
- 접합부에는 여유로운 반지름을 사용하여 응력과 입자 트랩을 감소시킵니다
- 진공 경로에서의 가상 누설을 피하기 위해 배기구를 추가하십시오. 원하는 누출률 목표를 지정하십시오.
- 코일 피치, 튜브 간격 및 벽 두께는 필요한 열전달과 압력 강하를 반영해야 한다
- 버블러의 경우 액체 수위, 딥 튜브의 침지 깊이, 바람직한 기포 크기(스파저 유형)를 정의하십시오.
- 하류 장비 및 유지보수 관행에 맞는 이음부와 플랜지 표준 선택
검사 및 시험
- 치수 확인(튜브 OD/ID/길이, 코일 기하학, 포트 위치)
- 의뢰에 의한 헬륨 누설 검사(진공 서비스); 설계에 따른 유량/압력 유지 시험 선택적 실시
- 복굴절 및 응력 점검. 칩, 균열, 포함 물질 및 오염에 대한 육안 검사。
- 청정도 검증 및 포장 인증서 이용 가능
용도
ALD/CVD 전구체 공급(버블러), 증기 발생 및 스크러빙, 부식성 또는 고순도 라인에서의 열교환, 마이크로 반응기, 실험실 및 파일럿 규모의 처리
포장 및 보관
정전기 방지 진공 밀봉 포장으로 충격 흡수 폼과 취약한 부품을 보호합니다. 건조한 상태를 유지하고 10–30 °C에서 <40% RH 이하로 보관하며 HF를 함유한 화학물질은 피하십시오.
비고
맞춤 구성(홀 패턴, 코팅 또는 추가 마킹)은 요청 시 제공됩니다.
대량 주문 시 적합성 증명서(RoHS, ISO 9001) 제공
한국어 
English 
Español 
Français 
Deutsch 
Русский 
العربية 
Português do Brasil 
日本語 
繁體中文