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노즐 및 유체 부품
용융석영 노즐, 스프레이 헤드, 주입기, 확산기 및 유체 매니폴드는 반도체 도구, ALD/CVD, 웨트 벤치 및 화학/연구소 시스템용으로 설계되었습니다. 고순도 용융석영으로 만들어 도면에 따라 정밀하게 가공된 이 부품은 화학적 비활성성, 열적 안정성 및 진공 및 고온 환경에서 가스와 액체의 정확하고 깨끗한 공급을 제공합니다.
견적에 필요한 정보
- 도면(PDF/STEP) 또는 주요 치수: 본체 크기, 벽 두께, 포트 위치
- 매질과 목표: 가스/액체, 유량 범위, 압력/진공, 분사 콘 또는 제트 형식
- 오리피스 세부사항: 직경, 수량, 간격, 위치; 단일 오리피스 또는 다중 오리피스; 필요 시 내부 디퓨저/스파저
- 매니폴드/채널 세부 정보(해당되는 경우): 배치, 단면 형상, 혼합 구역, 데드볼륨 한계
- 연결 유형: 나사산 끝단, 호스 바브 피팅, 압축 피팅, KF/ISO 플랜지 또는 맞춤형 어댑터
- 젖은 영역의 중요한 공차와 표면 마감; 청정도 수준
- 수량(프로토타입 또는 배치), 검사 보고서, 포장 수준
주요 사양
- 재질: 고순도 용융석영(SiO₂); 재료 인증서는 요청 시 이용 가능
- 유형: 노즐/인젝터, 분사 헤드, 디퓨저/스파저, 배분 매니폴드, 마이크로리액터/혼합 블록
- 치수: 도면대로(주문 제작) 균일한 벽 두께로 열 안정성을 확보
- 개구부 및 통로 레이저로 구멍을 뚫었거나 에칭한 것; 단일 또는 다공 배열; 채널 형상은 설계에 따라.
- 연결: 나사산, 바브(barbs), 압축 또는 플랜지 인터페이스; 정렬 기능 및 레이저 부품 ID 요청 시
- 표면 마감: 화염으로 연마된 가장자리; 젖은 표면을 연마하거나 광택을 내어 입자 생성을 최소화한다
- 구조: 화염 용융 접합을 이용한 정밀 가공. 매니폴드 설계용 접착 커버 플레이트는 선택 사항입니다
- 청결도: 초음파/DI 세척; Class-100 호환 포장
- 서비스 노트: 진공 또는 저압 서비스용으로 설계되었습니다. 모든 압력 등급은 설계 및 시험에 따라 다릅니다.
재료 특성(대표값)
- 거의 모든 산/염기 및 유기 용매에 대한 뛰어난 화학 저항성(참고: HF가 용융석영을 공격합니다)
- 매우 낮은 열팽창과 높은 열충격 내성
- 전기적으로 절연, 낮은 가스 방출; 광학적으로 깨끗한 표면
가공 및 설계 메모
- 내부 전이에서 충분한 반경을 사용하여 응력과 입자 트랩을 줄이십시오
- 통로 길이와 단면을 일관되게 유지하여 균일한 흐름 분포를 달성합니다
- 진공에 노출된 관통 구멍을 벤트하여 가상 누출을 피하고 허용 누출 속도를 지정하십시오
- 하류 배관에 맞는 연결 표준을 선택하십시오. 얇은 부위의 날카로운 나사산은 피하십시오
- 기하학에 따라 구멍의 크기/간격, 동심도, 직선도, 표면 마감에 대한 실용 공차를 제시할 수 있습니다.
검사 및 시험
- 치수 확인: 본체 크기, 포트 위치, 개구 크기 및 간격; 채널 기하학(매니폴드용).
- 선택 사항: 헬륨 누출 시험(진공 어셈블리)을 수행합니다. 설계에 따른 압력/보유 시험과 유량 특성화를 실시합니다
- 칩, 마이크로크랙, 포함물 및 오염에 대한 100% 시각 검사
- 청정 인증서와 자재 추적 가능
용도
프로세스 가스 주입 및 분배, ALD/CVD 전구체 공급. 스프레이 에칭/세척, 마이크로유체 혼합 및 계량, 분석 기기용 증기/액체 매니폴드 및 고순도 화학 라인.
포장 및 보관
정전기 방지 진공 밀봉 포장으로 충격 흡수 폼과 포트/개구부의 보호 캡이 있습니다. 건조한 상태로 보관하십시오(<40% RH) 10–30 °C; HF를 포함한 화학 물질은 피하십시오.
비고
맞춤 구성(홀 패턴, 코팅 또는 추가 마킹)은 요청 시 제공됩니다.
대량 주문 시 적합성 증명서(RoHS, ISO 9001) 제공
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