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용융석영 그리퍼 및 웨이퍼 취급 도구
맞춤형 용융석영 그리퍼 및 엔드 이펙터는 반도체 및 클린룸 자동화에서 초청결한 웨이퍼 취급과 구성 요소의 정밀한 전달을 위해 설계되었습니다. 고순도 용융석영으로 가공되어 입자 생성이 적고 마무리되어 있으며, 이 도구들은 뛰어난 화학적 비활성성, 열적 안정성 및 민감한 기판과의 부드럽고 긁힘 없는 접촉을 제공합니다.
견적에 필요한 정보
- 도면(PDF/STEP) 또는 주요 치수를 제공합니다. 치수에는 전체 크기, 포크 개구부 및 스로트 너비, 접촉 패드 너비 및 두께가 포함됩니다.
- 웨이퍼 크기 및 취급 방법(수동/로봇), 장착 패턴 또는 핸들 인터페이스
- 모서리/마감 요건: 모서리 절단/베벨, 연마된 접촉면, 필요 시 미끄럼 방지 질감
- 작업 환경: 화학 물질, 온도, 진공/클린룸 등급; 필요 시 ESD 또는 차광이 필요합니다.
- 중요 공차(평탄도, 평행도, 대칭성) 및 허용 처짐
- 수량(프로토타입 또는 배치); 검사 보고서 및 포장 수준
주요 사양
- 재질: 고순도 용융석영(SiO₂); 재료 인증서는 요청 시 이용 가능
- 형상: Y자 포크 / U자 포크 / 패들 / 스쿱 / 링 스타일 엔드이펙터; 일체형 또는 리브로 보강된 조립형으로 제작 가능. 강성을 높이기 위해 단일 피스로도, 리브가 있는 조립형으로도 제공됩니다.
- 치수: 도면에 따라 제작(주문 생산); 수동 또는 로봇용으로 균형 잡힌 무게 및 무게중심
- 접촉 영역: 완전히 연마된 입자 최소화 표면; 웨이퍼 가장자리와 노치를 보호하기 위한 둥근 모서리
- 특징: 정렬 노치, 후면 특징용 리리프 포켓, 진공 슬롯/컷아웃, 핸들 또는 로봇 장착용 구멍, 카운터싱크, 레이저 식별
- 모서리 및 표면 마감: 【正文】화염으로 연마된 림; 기능면은 연마되었거나 광학적으로 연마됩니다; 그립용 마이크로텍스처는 선택 사항
- 청결도: 초음파/DI 세척; Class-100 호환 포장
재료 특성(대표값)
- 우수한 화학 저항성 (참고: HF가 용융석영을 공격합니다)
- 매우 낮은 열팽창률과 우수한 내열 충격 내성
- 전기적으로 절연성이며, 가스 방출이 적습니다. 오염에 민감한 취급을 위한 광학적으로 깨끗한 표면.
가공 및 설계 메모
- 여유 있는 모서리 반경과 연마된 접촉 패드를 사용하여 미세 칩핑과 긁힘을 방지하십시오
- 포크의 대칭성과 목의 너비를 일관되게 유지하여 균일한 지지대를 확보합니다. 강성이 필요한 부위에는 리브를 추가합니다.
- 도구/로봇에 호환되는 장착 패턴 또는 핸들 기하학을 제공하십시오
- 후면 필름, 돌출부 또는 피듀셜 마크와의 접촉을 피하기 위해 요철 특징을 추가하세요
- 크기와 형상에 따라 평탄도, 평행도 및 처짐에 대한 실용 공차를 제시할 수 있습니다.
검사 및 시험
- 치수 확인: 전체 크기, 포크 개구, 두께, 장착 패턴
- 접촉면의 평탄성 및 평행성 검사
- 칩, 미세 균열 및 오염에 대한 100% 육안 검사. 선택적 이중굴절/응력 검사
- 요청에 따른 청정도 검증 보고서
용도
웨이퍼의 수동 및 로봇 로딩/언로딩, 계측 및 검사, 세척과 웻 벤치 이송, 캐리어/FOUP/SMIF 운용, 유리/세라믹 부품의 정밀 취급
포장 및 보관
접촉면 보호대 및 분리재; 정전기 방지, 진공 밀봉 포장으로 견고한 외부 보호를 제공합니다. 건조한 상태를 유지(<40% 상대 습도) 10–30 °C에서 HF를 함유한 화학물질은 피하십시오.
비고
맞춤 구성(홀 패턴, 코팅 또는 추가 마킹)은 요청 시 제공됩니다.
대량 주문 시 적합성 증명서(RoHS, ISO 9001) 제공
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