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용융석영 곡선 플레이트 및 가열로 튜브 라이너
용융석영으로 만든 곡면 플레이트와 반튜브 라이너는 반도체 도구, 화학 가공 및 산업용 가마에서의 고온·고순도 환경에 맞춰 설계되었습니다. 고순도의 용융석영으로 제조되었고 매끄럽고 파손 없는 가장자리를 가진 이 부품은 우수한 열적 안정성, 화학적 비활성 및 정밀한 적합성을 제공합니다 — 신뢰할 수 있는 보호, 깨끗한 흐름 및 긴 수명을 보장합니다.
견적에 필요한 정보
- 도면(PDF/STEP) 또는 주요 치수: 내부 반지름/외부 반지름(또는 튜브의 ID/OD), 아크 각도(예: 90°/120°/180°), 길이, 두께
- 기하학: 단일 곡면 플레이트, 반튜브, 사분원통 또는 세그먼트 라이너; 오버랩 접합 또는 바트 접합 스타일
- 끝과 모서리의 상세: 네모나거나 둥근 끝, 립/플랜지, 탭, 모서리 가공/베벨; 슬롯, 구멍 또는 창.
- 인터페이스 및 적합: 결합용 튜브 또는 프레임 크기, 라이너-벽 간 목표 간극, 접촉/접지 영역, 장착 또는 클램프 방법
- 작동 조건: 화학, 최대 온도 및 열 사이클, 진공/압력(해당 시), 청정도 수준.
- 중요 공차: 프로필/반지름 정확도, 직선도, 평행도, 원형도/호를 따라 런아웃
- 수량(프로토타입 또는 배치); 요청된 검사 보고서 및 포장 수준
주요 사양
- 재질: 고순도 용융석영(SiO₂); 재료 인증서는 요청 시 이용 가능
- 형상: 곡면 플레이트, 반튜브 라이너, 쿼터 세션, 분할 슬리브 및 맞춤 아크 세그먼트—모노리스틱 또는 화염 융합 어셈블리.
- 치수: 도면대로(주문 제작) 균일한 벽 두께로 열 안정성을 확보
- 모서리 및 표면: 화염으로 연마된 가장자리; 기능면은 연마되었거나 가공되었습니다. 입자 생성을 최소화하기 위한 매끄러운 반경.
- 선택적 기능: 릴리프/배기 구멍, 정렬용 노치/키, O-링 홈 또는 실링 면, 위치 지정 탭.
- 변형들: 불투명(OP) 용융석영은 추가 열 차폐를 위해 사용 가능; 시각 검사용 투명 용융석영
- 청결도: 초음파/DI 세척; Class-100 호환 포장
재료 특성(대표값)
- 매우 낮은 열팽창과 우수한 열충격 내성
- 대부분의 공정 매체에 대한 우수한 화학적 내성(참고: HF가 용융석영을 침식함)
- 전기적으로 절연, 가스 방출이 적음; 투명성이 필요한 경우 광학적으로 순수함
가공 및 설계 메모
- 반지름이 어느 기준에 참조되는지 정의한다 내부 또는 외부의 표면; 응력을 줄이기 위해 벽 두께를 균일하게 유지
- 팽창 간극을 허용하고 규정에 맞는 고정으로 열 사이클 동안 응력을 피합니다
- 전이부에 충분한 필렛을 추가하고 모든 모서리의 버를 제거하여 칩핑과 입자 트랩을 방지합니다.
- 세그먼트 라이너의 경우 이음부 중첩/간격 및 회전 방지 기능을 지정하십시오.
- 크기와 형상에 따라 반지름/프로필의 공차, 평탄도/직선도, 그리고 런아웃에 대한 실행 가능한 공차를 제시할 수 있습니다.
검사 및 시험
- 치수 검증: 반지름/호 각도/길이/두께; 호를 따라 형상 공차; 구멍 및 슬롯 위치
- 기준면에서의 평탄도/직선도 검사; 기준면에 대한 원형도/런아웃
- 칩, 마이크로크랙, 포함물 및 오염에 대한 100% 시각 검사
- 선택사항: 이중굴절 및 응력 평가와 청결도 보고서
용도
용융로 튜브 라이너와 분할 슬리브, 열 차폐판과 스플래시 가드, 보호용 배플, 곡면 창 또는 안내 가이드, 고순도 고온 공정을 위한 (확산/산화/CVD, 습식 벤치, 실험용 가열로)
포장 및 보관
모서리 가드와 곡선형 구분자. 정전기 방지 기능이 있는 진공 밀봉 포장과 견고한 외부 보호, 건조하게 보관(<40% 상대 습도) 10–30 °C에서 HF를 포함한 화학물질은 피하십시오.
비고
맞춤 구성(홀 패턴, 코팅 또는 추가 마킹)은 요청 시 제공됩니다.
대량 주문 시 적합성 증명서(RoHS, ISO 9001) 제공
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