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용융석영 버블러 튜브 및 가스 스파저
용융석영 버블러 튜브와 가스 스파저는 고순도 반도체, 화학 및 실험실 공정용으로 설계되었습니다. 초고순도 용융석영으로 만들어졌고 정밀 화염 융합으로 조립된 이 부품은 뛰어난 화학적 비활성도, 열적 안정성 및 액체나 슬러리에 가스를 깨끗하고 정밀하게 분산시키는 기능을 제공합니다.
견적에 필요한 정보
- 도면(PDF/STEP) 또는 핵심 치수: 튜브의 외경/내경/길이; 침지 깊이; 굽힘/암의 기하학.
- 스파저 헤드 스타일: 다구멍 팁, 천공된 벌브, 슬롯형 팁 또는 다공성 헤드(요청 시)
- 목표 기포 크기/분포, 가스 유형 및 유량 범위; 액체/화학 및 작동 온도
- 연결 유형: 직선 튜브, 그라운드 조인트, 볼/소켓, 호스 바브, 또는 KF/ISO/CF 어댑터
- 젖은 영역의 청결도와 표면 마감. 역류 방지/사이펀 방지 요건.
- 헬륨 누출, 유량 특성화, 유지/압력 시험 등 테스트 요건 및 포장 수준.
주요 사양
- 재질: 고순도 용융석영(SiO₂); 재료 증명서는 요청 시 제공 가능
- 구성: 직선형 또는 L자 모양의 디ップ 튜브; 단일 또는 다수의 벌브; 측면 포트; 내장 행거와 위치 결정 칼라.
- 분산 옵션: 레이저로 뚫리거나 식각된 구멍; 슬롯형 팁; 선택적 다공성 디퓨저 헤드
- 구조: 매끈한 화염 용융 접합 전이와 응력 완화 어닐링; 칩 없는 연마된 끝면
- 연결: 연마된 원추형 접합, 볼-소켓 접합, 호스 바브 또는 진공 플랜지는 지정대로
- 청결도: 초음파/DI 세척; Class-100 호환 포장
- 서비스 노트: 진공 또는 낮은 양압에 적합하도록 설계됨; 모든 압력 등급은 설계 및 시험에 의존합니다
재료 특성(대표값)
- 우수한 화학적 저항성 및 낮은 추출물 함량(참고: HF가 용융석영을 공격합니다)
- 매우 낮은 열팽창률과 우수한 내열 충격 내성
- 전기적으로 절연, 낮은 가스 방출; 광학적으로 깨끗한 젖은 표면
가공 및 설계 메모
- 타깃 버블 크기와 가스 유량에 맞춰 오리피스의 수와 크기를 조정하고, 응집을 방지하기 위해 포트를 배분한다
- 블라인드 캐비티용 배기 경로 제공으로 진공 시스템의 가상 누출 방지
- 접합부에는 여유 있는 필렛을 사용하여 응력과 입자 트랩을 최소화하고 필요할 때 젖은 표면을 연마하십시오
- 안전한 종료를 위한 침수 깊이와 역류 방지 기능을 정의합니다. 필요에 따라 배수 및 세척 조항을 추가하십시오.
- 기하학에 따라 직선도, 동심도 및 오리피스 위치에 대한 실용 공차를 제안할 수 있습니다.
검사 및 시험
- 치수 검증: OD/ID/길이, 굽힘 기하학, 오리피스 크기/개수/배치
- 선택사항: 헬륨 누설 시험(진공 작동), 유량 및 압력 강하 특성 평가, 청정도 보고서
- 칩, 마이크로크랙, 포함물 및 오염에 대한 100% 시각 검사
용도
웨트 벤치와 화학 욕조에서의 가스 분산. 전구체/증기의 거품 형성, 고순도 시스템에서의 혼합 및 에어레이션, 가스 세척과 분석/실험실 공정.
포장 및 보관
구멍과 끝에 보호 캡이 제공됩니다; 정전기 방지 진공 밀폐 포장으로 충격 흡수 폼과 견고한 외부 보호가 있습니다. HF를 함유한 화학물질을 피하고, 건조한 상태에서 10–30 °C, <40% RH 이하로 보관하십시오.
비고
맞춤 구성(홀 패턴, 코팅 또는 추가 마킹)은 요청 시 제공됩니다.
대량 주문 시 적합성 증명서(RoHS, ISO 9001) 제공
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