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고온 공정용 불투명 용융석영 링 (OP)
OP (opaque) 용융석영 링은 반도체로의 밀봉, 튜브 끝 지지 및 핫존 열차폐 등 고온·고순도 용도용으로 설계되었습니다. 미세기포가 균일한 불투명화된 고순도 용융석영으로 제작되어 우수한 열안정성, 내화학성 및 엄격한 치수제어로 신뢰성 있고 오염 없는 작동을 보장합니다
견적에 필요한 정보
- 도면(PDF/STEP) 또는 주요 치수: 외경/내경, 두께, 계단 높이/너비
- 맞물림 부품 및 인터페이스: 가마 튜브 OD/ID, 도어 플레이트, 클램프 표면, 가스켓 또는 홈의 상세 정보
- 특징: 이중 립/계단식 프로필, 정렬 노치/키, 볼트 구멍 및 카운터싱, 통풍 구멍, 모서리 다듬기/베벨.
- 작동 조건: 최대 온도, 열 사이클 프로파일, 분위/화학물질.
- 중요 공차: 평탄도, 평행도, 동심도/런아웃; 씰링랜드의 표면 마감 필요
- 수량(프로토타입 또는 배치). 검사 보고서 필요; 포장/청정도 수준.
주요 사양
- 재질: 불투명화된 고순도 용융석영(SiO₂); 재료 증명서는 요청 시 제공됩니다.
- 형상: 평평한 링, 계단식 링 또는 이중 립 링, 세그먼트형 또는 모놀리식 구성. 도면에 따라 완전히 주문 제작
- 기능 표면: 안정한 접촉을 위한 연삭/연마된 씰링 랜드; 입자 생성을 줄이기 위한 매끈한 반경.
- 열 기능: 마이크로 버블 구조는 IR 산란과 열 차단을 개선하여 핫 존의 온도를 안정시키고 열 손실을 줄이는 데 도움을 줍니다.
- 조립: 필요 시 화염 융합 접합부를 사용한 정밀 가공; 스트레스 해소를 위한 어닐링 가능
- 청결도: 초음파/DI 세척; 모서리 보호대가 있는 Class-100 호환 포장
재료 특성(대표값)
- 높은 열 안정성과 낮은 열팽창; 우수한 열충격 내성
- 대부분의 공정 가스/화학물질에 대한 탁월한 화학적 비활성(참고: HF가 용융석영을 공격합니다)
- 전기적으로 절연, 가스 배출이 적음; 균일한 불투명화로 일관된 열 특성.
가공 및 설계 메모
- 단면 두께를 균일하게 유지하고 내부 반경을 충분히 크게 사용하여 응력 집중을 최소화하십시오.
- 진공에 노출된 관통 구멍의 통풍구와 카운터보어를 지정하여 가상 누출을 방지하십시오
- 실링랜드의 너비/마감 및 링-튜브 간 허용 간극을 정의하여 누설 방지 및 정렬을 유지한다.
- 실링랜드의 너비/마감 및 링-튜브 간 허용 간극을 정의하여 누설 방지 및 정렬을 유지한다.
- 크기/기하학적 형상에 기반하여 평탄도, 평행도, 동심도 및 런아웃에 대한 실현 가능한 공차를 제시할 수 있습니다
검사 및 시험
- 치수 확인(OD/ID/두께; 스텝 높이/너비; 기준점 위치)
- 씰링랜드의 평탄도/평행도와 런아웃 및 기준면의 검사
- 칩, 미세 균열, 포함물에 대한 육안 검사를 수행하고 불투명도 균일성을 평가한다.
- 선택사항: 이중굴절/응력 평가; 청정도 검증 보고서
용도
로스터 튜브 끝단의 밀봉 및 지지. LPCVD/산화 핫존 링, 열 차폐/리플렉터, 도어-플레이트 인터페이스, 고순도와 안정된 온도장을 요구하는 확산 및 어닐링 공정.
포장 및 보관
링 분리기 및 모서리 가드; 정전기 방지, 진공 밀봉 포장으로 견고한 외부 보호가 적용되어 있습니다. 건조하게 보관하고 (<40% RH) 10–30 °C에서 HF를 포함한 화학물질로부터 떨어져 보관하십시오.
비고
맞춤 구성(홀 패턴, 코팅 또는 추가 마킹)은 요청 시 제공됩니다.
대량 주문 시 적합성 증명서(RoHS, ISO 9001) 제공
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