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溶融石英 ウェーハスペーサーと積層ロッド
溶融石英ウェハ間スペーサーと積層ロッドは、ウェハの分離・乾燥・バッチ処理を湿式ベンチ、拡散炉、および高温プロセスで行うために設計されています。高純度の溶融石英を用い、低粒子発生に適した仕上げが施されており、これらの部品はウェハを等間隔に保持し、傷を防ぎ、重要な環境で清浄かつ熱的に安定した性能を提供します。
見積もりに必要な情報
- 図面（PDF/STEP）または主要寸法: ロッド/バーの直径または幅 × 長さ; 溝/刻みのピッチ、幅、深さ; 接触部の幅
- ウェーハのサイズと目標間隔（ロッドあたりのウェーハ枚数、積層全高）
- 端部機能: 径が小さくなったテノン/肩、平面/転倒防止表面、貫通穴、ねじ、または取り付け溝
- 接触部の表面仕上げ（ポリッシュ対グラインド）、ウェーハのエッジを保護するエッジ半径と面取り
- 運用環境: 化学物質（ウェットベンチ化学）。真空/温度プロファイルと清浄度レベル。
- 重要公差: 溝のピッチの均一性、直線性/同心性、荷重下の許容撓み。
- 数量（試作またはロット）、必要な検査報告書、梱包レベル
主要仕様
- 재료: 高純度溶融石英（SiO₂）；材料証明書は要請に応じて提供可能
- 形状: 加工済みの溝・歯形を備えた丸棒または平板。オプションのスペーサー、ストップ、整列用のフラット面、または単体構成・炎で結合したアセンブリ
- 寸法: 設計図どおり（受注生産）で、熱安定性のための一様な断面厚さ
- 接触面: 研磨面と半径付きエッジでマイクロ欠けと傷を最小限に抑える
- 端部と取り付けオプション: フレーム用のテノン／肩、ねじ付きまたは貫通孔の端、回転防止フラット、レーザー部品IDは要望に応じて。
- 清浄度: 超音波/DI洗浄; Class-100対応梱包
材料特性（代表値）
- 非常に低い熱膨張率と優れた耐熱衝撃性
- ほとんどのプロセス媒体に対する優れた耐薬品性（注：HFは溶融石英を侵食します）
- 電気絶縁性、低ガス放出；光学的にクリーンな表面
加工と設計メモ
- ウェハのエッジ形状に合わせて溝半径とランド幅を一致させる。急な遷移を避ける。
- 溝のピッチを均一に保ち、間隔と空気の流れ／リンス流を一定にする。必要に応じて排水リリーフを追加する。
- 全荷重下で許容されるたわみを指定してください。剛性が重要な場合は、断面を大きくするか、リブを追加してください。
- バキューム機器で使用されるブラインドホールを換気して仮想リークを防ぐ
- ストレス緩和アニーリングとエッジ研磨は熱サイクルでの長寿命を確保するために推奨されます
検査と試験
- 寸法検証: ロッドの直径/長さ、溝のピッチ/幅/深さ、端部特徴のサイズと位置.
- 直線度/同心度の検査と代表荷重下のたわみ
- 100%の視覚検査：チップ、マイクロクラック、含有物、汚染
- 任意: 清浄度認証、複屈折/応力評価
用途
ウェーハの積み重ねと分離を湿式ベンチで行い、拡散/酸化/焼成用のファーネス、乾燥・搬送用治具、仮設保管ラック、および高純度ラインにおける高精度な取り扱い
包装と保管
接触面保護具とセパレータ；静電気防止、真空封止の包装で堅牢な外部保護を提供。乾燥した状態を維持し (<40% 相対湿度) 10–30 °C で HF を含む化学物質を避けて保管してください。
備考
カスタム構成（穴パターン、コーティング、または追加マーキング）はご要望に応じて対応します。
大量注文時に適合証明書（RoHS、ISO 9001）を添付
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