溶融石英トレイ、ベース、ウェハー用ボートウェハー処理用

溶融石英トレイ、ベース、ウェハー用ボートウェハー処理用

カスタムの溶融石英トレイ、ベース、ウェーハボートは、ウェハーの処理を湿式ベンチ、エッチング、CVD/拡散、洗浄、高温プロセスで想定して設計されています。高純度の溶融石英を用い、図面に合わせて精密加工したこれらのキャリアは、優れた熱安定性、化学的不活性、滑らかな接触面、そして重要環境でのクリーンな性能を提供します。

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見積もりに必要な情報

• 図面 (PDF/STEP) または主要寸法 (長さ × 幅 × 高さ、壁厚)
• ウェハサイズと容量（スロット/ポケット/ポスト配置、ピッチ、間隔）
• 必要な特徴: 排水孔、オーバーフロー堰、リブ、取っ手、脚/スタンドオフ、蓋、識別マーク。
• エッジと表面仕上げの要件（面取り／ベベル、研削面または研磨済み表面）
• 作業環境（化学薬品、ウェットベンチ／熱処理プロセス）、最大温度、目標清浄度レベル
• 重要な公差と平坦性/平行性の目標
• 数量（プロトタイプまたはバッチ）、検査報告書が必要、梱包レベル

主要仕様

• 재료: 高純度溶融石英（SiO₂）；材料証明書は要請に応じて提供可能
• 形状: 長方形/楕円形/圆形のトレイ、基座、ウェーハボート。図面に従って、統合されたスロット、ポケット、ポスト、またはリブ。
• 寸法: 図面どおりに（受注生産）。壁厚は均一で、必要に応じて補強部を設ける。
• 表面仕上げ: ファイアポリッシュ済みのリム。粒子発生を最小化するため、内部面は研削または研磨済み；バリを除去し、滑らかなフィレットを実現します。
• スロット／ポスト機能 スロット数とピッチをカスタム、ポケット深さ、ポストの直径/高さ；ウェーハを保護するための角を丸く
• 排水と流れ: 排水孔、溝、またはオーバーフロー堰は、効果的な化学交換と乾燥のために設計されています。
• 取り扱い機能： ハンドホールド、アライメント用ノッチ、安定配置のための脚/スタンドオフ。オプションのレーザーIDおよびフローマーク。
• 構造: 精密加工と炎融着組立; 応力緩和用アニーリングが可能
• 清浄度: 超音波/DIリンス; Class-100対応のパッケージ

材料特性（代表値）

• クリーンルーム用途の高純度・低ガス放出
• ほとんどの酸/アルカリおよび有機溶媒に対して優れた耐薬品性を示します。注：溶融石英はHFには耐性がありません
• 非常に低い熱膨張、良好な熱衝撃耐性、高温での安定性。
• 電気絶縁と高い表面品質

加工と設計メモ

• 応力を低減させるため、壁厚を一定に保ち、内部の半径を十分に大きくしてください
• 底部のリブまたはフレームは、大型フォーマットの剛性と平坦性を向上させることができます
• 表面仕上げ（研削/研磨）は、工程の清浄さと取り扱いのニーズに基づいて選択されます。
• サイズと幾何学形状に基づき、スロット/ピッチの均一性、平坦性、平行性に関する実用的公差を提案できます。

検査と試験

• 寸法検査：長さ/幅/高さ；スロットとポストのピッチと高さ。ポケット深さ；平坦性/平行性
• 目視検査：チップ、亀裂、含有物、汚染の100%検査
• オプション: 複屈折/応力検査。表面仕上げ検証と清浄度検証レポート。

用途

ウェハの洗浄とエッチング、ウェットベンチ処理。CVD/拡散/アニールのバッチ投入、ウェハの輸送と一時保管、精密化学処理

包装と保管

静電防止の真空シール包装、衝撃吸収フォームと頑丈な外部保護。乾燥(<40% RH)の状態で10–30 °Cで保管。保管中はHFを含む化学薬品を避けてください。

迅速なお問い合わせ

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