溶融石英リアクター、熱交換器＆バブラー

溶融石英リアクター、熱交換器＆バブラー

半導体ツール、化学処理、実験室用途向けに設計されたカスタムの溶融石英反応器、熱交換器、バブラー。超高純度の溶融石英から作られ、精密な炎融合で組み立てられたこれらの複雑な部品は、真空・高温環境で卓越した耐化学性、熱安定性、清浄で正確な流体/蒸気の取り扱いを提供します。

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見積もりに必要な情報

• 図面（PDF/STEP）または主要寸法と配置（チューブの外径/内径、長さ、コイルまたは束の幾何学、容器のサイズ）
• プロセス条件：ガス/化学薬品、最大温度、真空レベル/許容圧力、ターゲット流量と熱負荷
• 接続タイプ：研磨されたグラウンドグラスジョイント、ボール/ソケット、KF/ISO/CFフランジ、またはカスタムアダプター
• 内部の特徴: ディップチューブの長さ、スパージャ/多孔ディフューザー、バッフル、コイル/ジャケット、サーモウェル/視孔。
• 重要公差: 同心円度、直線性、平行度、漏れ率の仕様
• 数量（プロトタイプまたはロット）、検査報告が必要。梱包/清浄度レベル。

主要仕様

• 재료: 高純度溶融石英（SiO₂）；材料証明書は要請に応じて提供可能
• 構成:
  反応器: ストレート容器またはジャケット付き容器、マルチポートマニホールド、組み込みコイルまたはバッフル。
  熱交換器 コイル、らせん状、またはチューブ・イン・チューブ式スタイル; 複数チューブのバンドル; 入力/出力マニホールド
  バブラー: 内部ディップチューブ/スパージャを備えたシングルポートまたはデュアルポート設計; 液面上方の蒸気排出口
• 接続: 標準テーパー継手、ボール／ソケット、KF/ISO/CFフランジ、ホースバーブ、またはカスタム终端部。
• 組立: 高精度の炎融着接合と遷移；応力緩和アニーリング対応
• 表面と清浄度: チップのない滑らかなエッジ; 超音波/DI 洗浄; クラス100適合の梱包
• 設計の限界 図面によると、真空または低圧サービス用を意図しており、圧力定格は設計および試験計画によって定義されます。

材料特性（代表値）

• 卓越した化学的不活性（注：HF は溶融石英を攻撃します）
• 高い熱安定性と非常に低い熱膨張
• 電気的に絶縁され、低ガス放出；高純度用途に適した、光学的に清浄な表面。

加工と設計メモ

• 結合部には余裕のある半径を取り、応力と粒子トラップを低減します
• 真空ラインでの仮想リークを回避するためにベントを追加してください。希望するリーク率の目標を指定してください。
• コイルピッチ、チューブ間隔、壁厚は必要な熱伝達と圧力損失を反映すべき
• バブラーの場合、液位、ディップチューブの浸漬深さ、希望する気泡サイズを定義します（スパージャタイプ）。
• 下流機器とメンテナンス慣行に合わせた継手とフランジ規格を選択する

検査と試験

• 寸法検査（チューブのOD/ID、長さ、コイルのジオメトリ、ポート位置）
• 要望によりヘリウム漏れ試験（真空サービス）; 設計による流量/圧力保持試験を任意で実施
• 複屈折と応力の検査。欠け、ひび、混入物、汚染の目視検査。
• 清浄度の検証と包装証明書が利用可能

用途

ALD/CVD前駆体供給（バブラー）、蒸気発生とスクラブ、腐食性または高純度ラインにおける熱交換、マイクロ反応器、実験室およびパイロット規模の処理

包装と保管

静電防止の真空密封包装で、衝撃吸収性のフォームと壊れやすい部品を保護します。乾燥状態を維持し、10–30 °C、<40% RH以下で保管し、HFを含む化学薬品は避けてください。

迅速なお問い合わせ

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