高温プロセス用の不透明溶融石英リング（OP）

高温プロセス用の不透明溶融石英リング（OP）

OP (opaque) 溶融石英リングは、半導体炉のシール、チューブ端部支持、ホットゾーンの断熱シールドなど高温・高純度用途向けに設計されています。微小気泡が均一な不透明化された高純度溶融石英製で、熱安定性、耐薬品性、厳密な寸法管理により信頼性の高い無汚染動作を実現します

無料相談を申し込む

見積もりに必要な情報

• 図面（PDF/STEP）または主要寸法。外径/内径、厚さ、段高/段幅。
• 結合部品とインターフェース: 炉チューブ OD/ID、ドアプレート、クランプ表面、ガスケットまたは溝の詳細
• 特徴: ダブルリップ/階段状のプロファイル、整列ノッチ/キー、ボルト穴と皿穴、通気孔、面取り/ベベル。
• 作動条件: 最大温度、熱サイクルプロファイル、雰囲気/化学物質。
• 重要公差：平坦度、平行度、同心度/ランアウト；シールランドの表面仕上げが必要
• 数量（プロトタイプまたはロット）、検査報告が必要。梱包/清浄度レベル。

主要仕様

• 재료: 不透明化された高純度溶融石英（SiO₂）；材料証明書は要請により入手可能。
• 形状: フラットリング、段付きリング、二重リップリング、セグメント構造またはモノリシック構造。図面に基づき完全にカスタム
• 機能表面: 安定した接触のための研削・研磨済みシーリング面；パーティクル発生を抑制するための滑らかな半径。
• 熱機能: マイクロバブル構造は赤外線の散射と断熱性を改善し、ホットゾーンの温度を安定させ、熱損失を抑えます。
• 組立: 必要に応じて炎で融着した継手を用いた高精度加工；応力緩和用アニーリングあり
• 清浄度: 超音波/DI洗浄; Class-100対応のエッジプロテクター付き包装

材料特性（代表値）

• 高い熱安定性と低い熱膨張率; 優れた耐熱衝撃性
• ほとんどのプロセスガス/化学物質に対する卓越した化学的不活性（注：HFは溶融石英を侵します）
• 電気絶縁性、低ガス発生量; 一貫した熱特性のための均一な不透明化。

加工と設計メモ

• 断面の厚さを均一に保ち、内部半径を十分に大きく取って応力集中を最小限にしてください。
• 真空にさらされるスルーホールのベントおよびカウンタボアを指定し、仮想リークを防止する
• シーリングランドの幅と仕上げ、およびリングとチューブ間の許容間隙を定義し、漏れ防止と整列を維持する。
• シーリングランドの幅と仕上げ、およびリングとチューブ間の許容間隙を定義し、漏れ防止と整列を維持する。
• サイズ/ジオメトリに基づいて、平坦度、平行度、同心度、ランアウトに対する実現可能な公差を提案できます

検査と試験

• 寸法検証（OD/ID/厚さ；ステップの高さ/幅；データム位置）
• シール面と基準面の平坦度・平行度と円振れの検査
• チップ、微小亀裂、含有物の目視検査を行い、不透明化の均一性を評価する。
• 任意: 二重屈折/応力の評価; 清浄性検証レポート

用途

炉チューブ端部のシールと支持。LPCVD/酸化ホットゾーンのリング、サーマルシールド/リフレクター、ドアとプレートのインターフェース、高純度と安定した温度場を要する拡散およびアニーリングプロセス。

包装と保管

リングセパレーターとエッジガード；静電気防止、真空密封包装で外装は堅牢。乾燥保存（<40% RH）を10–30 °Cで HF 含有化学薬品から離して保存。

迅速なお問い合わせ

詳しく知りたい方へ 溶融石英 溶融石英のソリューションをお探しですか？専門的なサービスは当社にお問い合わせください

メールまたは電話で24/7対応し、当社の溶融石英製品の購入、ソリューション、使用上の問題への対応、または技術サポートを提供します。

请在浏览器中启用JavaScript来完成此表单。

名前（コピー） *

前一页

后一页

メール *

1行のテキスト

コメントまたはメッセージ *

メッセージを送信