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溶融石英グリッパーとウェハー取扱いツール
超クリーンなウェハーの取り扱いと部品の正確な移送のために設計された、カスタムの溶融石英グリッパーとエンドエフェクター。高純度の溶融石英から機械加工され、粒子発生を抑える仕上げで、これらのツールは優れた化学的不活性、熱安定性、および敏感な基板との傷のつかない滑らかな接触を提供します。
見積もりに必要な情報
- 図面（PDF/STEP）または主要寸法を示します。寸法には全体サイズ、フォーク開口部と喉の幅、接触パッドの幅、厚さが含まれます。
- ウェハサイズと取り扱い方法（手動/ロボット式）、取り付けパターンまたはグリップインタフェース
- エッジ/仕上げ要件: 面取り/ベベル、研磨済みの接触面、必要に応じた滑り止めテクスチャ
- 作業環境：化学薬品、温度、真空/クリーンルームクラス。必要に応じてESD対策や遮光対策が求められます。
- 重要な公差（平坦度、平行度、対称性）と許容たわみ
- 数量（プロトタイプまたはロット）; 検査報告と梱包レベル
主要仕様
- 재료: 高純度溶融石英（SiO₂）；材料証明書は要請に応じて提供可能
- 形状: Y字型フォーク / U字型フォーク / パドル / スクープ / リング状エンドエフェクター; 一体型またはリブ付きで剛性を高めた構成。剛性を確保するには、単一ピースとしても、リブ付きの組み立ても可能です。
- 寸法: 図面どおり（受注生産）; 手動またはロボット用途のためのバランスの取れた重量と重心
- 接触領域： 完全に研磨され、粒子を最小化した表面。ウェーハの端部とノッチを保護するための半径付きエッジを備える。
- 特徴: 位置合わせ用ノッチ、背面の特徴のためのリリーフポケット、真空用スロット/抜き、ハンドルまたはロボット取付用孔、沈頭穴、レーザー識別
- エッジと表面仕上げ: 【正文】火炎で磨かれたリム；機能面は研磨または光学的研磨を施すことができる；グリップ用のマイクロテクスチャは任意です
- 清浄度: 超音波/DI洗浄; Class-100対応梱包
材料特性（代表値）
- 卓越した化学耐性（注：HFは溶融石英を攻撃します）
- 非常に低い熱膨張率と優れた耐熱衝撃性
- 電気的に絶縁性が高く、低ガス放出。汚染に敏感な取扱いのための、光学的に清浄な表面。
加工と設計メモ
- 十分なエッジ半径と研磨された接触パッドを使用して、マイクロチッピングと傷を防止します
- フォークの対称性と喉幅を一貫して維持し、均一な支持を確保する。剛性が必要な箇所にはリブを追加する。
- ツール/ロボットに対応した取り付けパターンまたはハンドルのジオメトリを提供してください
- 背面フィルム、隆起、またはフィデュアルマークとの接触を避けるための起伏特徴を追加する
- サイズと幾何形状に基づいて、平坦度、平行度、たわみの実用公差を提案できます。
検査と試験
- 寸法検証: 全体寸法、フォーク開口、厚さ、取り付けパターン
- 接触面の平坦性・平行性の検査
- チップ、マイクロクラック、汚染の100%目視検査。任意の二重屈折/応力検査
- 要請による清浄度検証レポート
用途
ウェーハの手動およびロボットによるロード/アンロード、計測と検査、洗浄とウェットベンチ転送、キャリア/FOUP/SMIF の運用、ガラス/セラミック部品の高精度な取り扱い
包装と保管
接触面保護具とセパレータ；静電気防止、真空封止の包装で堅牢な外部保護を提供。乾燥した状態を維持し (<40% 相対湿度) 10–30 °C で HF を含む化学物質を避けて保管してください。
備考
カスタム構成（穴パターン、コーティング、または追加マーキング）はご要望に応じて対応します。
大量注文時に適合証明書（RoHS、ISO 9001）を添付
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