溶融石英の曲線プレートと炉用チューブライナー

溶融石英の曲線プレートと炉用チューブライナー

溶融石英の曲がったプレートと半管ライナーは、半導体ツール、化学処理、産業用窯炉における高温・高純度環境向けに設計されています。高純度の溶融石英から製造され、滑らかで欠けのない縁を備えたこれらの部品は、優れた熱安定性、化学的不活性、正確な適合性を提供します—信頼性の保護、清浄な流れ、長い寿命を約束します。


見積もりに必要な情報

  • 図面(PDF/STEP)または主要寸法:内半径/外半径(またはチューブのID/OD)、アーク角度(例:90°/120°/180°)、長さ、厚さ
  • ジオメトリ: 単一の曲がった板、半管、四分円柱、またはセグメントライナー;オーバーラップジョイントまたはバットジョイントスタイル
  • 端部とエッジの詳細: 四角いまたは丸みを帯びた端、リップ/フランジ、タブ、面取り/ベベル; 溝、穴、または窓。
  • インタフェースと適合: 結合用チューブまたはフレームのサイズ、ライナーと壁の間隙の目標値、接触/着座領域、取り付けまたはクランプ方式
  • 動作条件: 化学、最大温度と熱サイクル、真空/圧力(該当する場合)、清浄度レベル。
  • 重要な公差:プロファイル/半径の精度、直線性、平行度、円形度/アークに沿ったランアウト
  • 数量(プロトタイプまたはバッチ); 要求された検査レポートと梱包レベル

主要仕様

  • 재료: 高純度溶融石英(SiO₂);材料証明書は要請に応じて提供可能
  • 形状: 曲面プレート、半管ライナー、クォーターセクション、分割スリーブ、カスタムアークセグメント—モノリシックまたは炎融着アセンブリ。
  • 寸法: 図面どおり(受注生産)で、均一な壁厚を実現し熱安定性を確保
  • エッジと表面: 炎で磨かれたリム;機能面は研磨済みまたは加工済み。粒子発生を最小限に抑えるための滑らかな半径。
  • オプション機能: リリーフ穴/換気孔、整列用ノッチ/キー、Oリング溝またはシール面、位置決め用タブ。
  • バリエーション: 不透明(OP)溶融石英は追加の熱遮蔽用に利用可能です;視覚検査用の透明な溶融石英
  • 清浄度: 超音波/DI洗浄; Class-100対応梱包

材料特性(代表値)

  • 非常に低い熱膨張性と良好な熱衝撃耐性
  • ほとんどのプロセス媒体に対する優れた耐薬品性(注:HFは溶融石英を侵食します)
  • 電気的絶縁性、低ガス放出量;透明性が要求される場合は光学的に清浄

加工と設計メモ

  • 半径がどの基準に基づいて参照されるかを定義する 内部 または 外部の 表面;応力を低減するために壁厚を均一に保つ
  • 拡張ギャップを許容し、適合したクランプで熱サイクル時の応力を回避する
  • 遷移部に十分なフィレットを追加し、すべてのエッジのバリを除去して欠けと粒子のトラップを防ぎます。
  • セグメント化されたライナーの場合、接合部の重なりと間隔、および回転防止機能を指定してください。
  • サイズと形状に基づいて、半径/プロファイル、平坦度/直線性、およびランアウトの実現可能な公差を提案できます。

検査と試験

  • 寸法検証: 半径/アーク角/長さ/厚さ; 弧に沿ったプロファイル公差; 穴とスロットの位置
  • 基準面における平坦性/直線度の検査;基準面に対する円度/跳動
  • 100%の視覚検査:チップ、マイクロクラック、含有物、汚染
  • 任意: 複屈折と応力評価および清浄度レポート

用途

炉チューブのライナーと分割スリーブ、熱シールドと飛散防止ガード、保護用バッフル、曲面窓または案内、純度の高い高温プロセスのための(拡散/酸化/CVD、ウェットベンチ、実験用炉)

包装と保管

エッジガードと曲線状のセパレータ。静電防止機能を備えた真空シール包装と頑丈な外部保護を備え、乾燥状態で保管(<40% 相対湿度)を10–30 °Cで行い、HFを含む化学薬品は避けてください。

備考
カスタム構成(穴パターン、コーティング、または追加マーキング)はご要望に応じて対応します。
大量注文時に適合証明書(RoHS、ISO 9001)を添付

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