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溶融石英 バブラー管とガススパージャ
溶融石英のバブラー管とガススパージャは、高純度半導体、化学、実験室プロセス向けに設計されています。超高純度のフュージドシリカから作られ、精密な炎融着によって組み立てられたこれらの部品は、優れた化学的惰性、熱的安定性、そして臨界環境で液体や懸濁液に対するガスの清浄で正確な分散を実現します。
見積もりに必要な情報
- 図面(PDF/STEP)または主要寸法:チューブの外径/内径/長さ;浸漬深さ;曲げ/アームの幾何学。
- スパージャーヘッドのスタイル:多孔の先端、穴の開いたバルブ、溝付き先端、または多孔性ヘッド(要望に応じて)
- 目標気泡サイズ/分布、ガス種と流量範囲;液体/化学組成と作動温度
- 接続タイプ: 直管、グラウンドジョイント、ボール/ソケット、ホースバーブ、または KF/ISO/CF アダプター
- 濡れた領域の清浄度と表面仕上げ。逆流防止要件/サイフォン防止要件。
- ヘリウム漏れ、流量特性、保持/圧力試験などの試験要件と梱包レベル。
主要仕様
- 재료: 高純度の溶融石英(SiO₂);材料証明書は要請に応じて入手可能
- 構成: ストレートまたはL字型のディップチューブ; 単一または複数の球状部; 側面ポート; 組込みのハンガーと位置決めカラー。
- 分散オプション: レーザーで開けられたまたはエッチングされた開口部; 槽状の先端; オプションの多孔質ディフューザーヘッド
- 構造: 炎で溶着した滑らかな遷移と応力緩和アニーリング; チップレスで研磨された端面
- 接続: 研磨済みのテーパー継ぎ手、ボール/ソケット継ぎ手、ホース用バーブ、または真空フランジは、所定のとおり
- 清浄度: 超音波/DI洗浄; Class-100対応梱包
- サービスノート: 真空または低陽圧用を想定; 圧力定格は設計と試験に依存します
材料特性(代表値)
- 優れた耐薬品性と低抽出物含有量(注: HFは溶融石英を攻撃します)
- 非常に低い熱膨張率と優れた耐熱衝撃性
- 電気的絶縁性、低アウトガス量;光学的に清浄な濡れ表面
加工と設計メモ
- ターゲットとなるバブルのサイズとガス流量に合わせてオリフィスの数とサイズを調整する。連結を避けるためにポートを分配する。
- ブラインドキャビティの排気経路を提供し、真空システムでの仮想リークを防止する
- 接合部には十分な半径を取り、応力と粒子トラップを最小化し、必要に応じて濡れた表面を研磨してください
- 安全なシャットダウンのための浸漬深さと逆流防止機能を定義する。必要に応じて排水/洗浄の規定を追加する。
- 幾何学に基づいて、直線性、同心度、および開口の配置について実用的な公差を提案できます。
検査と試験
- 寸法検証: OD/ID/長さ、曲げ幾何学、開孔サイズ/数/配置
- 任意: ヘリウム漏れ試験(真空動作)、流量と圧力降下の特性評価、清浄度レポート
- 100%の視覚検査:チップ、マイクロクラック、含有物、汚染
用途
ウェットベンチと化学浴槽におけるガスの分散。前駆体/蒸気の泡立ち、超高純度システムでの混合と曝気、ガスのスクラブと分析・実験室プロセス。
包装と保管
開口部と端部の保護キャップ; 静電防止、真空密封パッケージで、衝撃吸収性のフォームと頑丈な外装保護を備えています。HFを含む化学物質を避け、乾燥した状態で保管してください (<40% RH) 10–30 °C。
備考
カスタム構成(穴パターン、コーティング、または追加マーキング)はご要望に応じて対応します。
大量注文時に適合証明書(RoHS、ISO 9001)を添付