溶融石英 真空チャックと12-inchウェーハ保持ディスク

溶融石英 真空チャックと12-inchウェーハ保持ディスク

精密なオーダーメイドの溶融石英製真空チャックと12インチウェハ保持ディスクは、半導体ウェハの取り扱い、エッチング、その他のハイテク産業の要求の高い用途向けに設計されています。高純度の溶融石英から作られており、これらの部品は汚染のない、傷のない取り扱いを保証し、真空環境と高温環境での信頼性の高い性能を提供する卓越した熱安定性と化学的惰性を備えています。

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材質

• ベース材料：高純度合成溶融石英（SiO₂ ≥99.99%）
• 光学グレード: OH含有量が少ないUVグレードの透明性

寸法

• 直径 :100 mm ±0.05 mm
• 厚さ: 3 mm ±0.05 mm
• エッジ処理: 細研磨の面取り ≤0.3 mm

 物理的性質

• 密度: 2.2 g/cm³
• 硬度: Mohs 5.5-6.5
• 熱膨張: 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-300°C)
• 軟化点: 1683°C

光学特性

• 透過範囲：190 nm (UV) から 2500 nm (IR)
• 屈折率: 1.458 @ 587.6 nm (nd)
• Scratch-Dig: 60/40 (MIL-PRF-13830B)
• 表面の平坦度: λ/4 @ 632.8 nm

表面仕様

• Ra 粗さ: ≤5 Å (研磨表面)
• 並列度 : ≤1 arcmin

化学的耐性

• HFを除く酸・水・有機溶媒に耐性がある

用途

• 光学窓、レーザーシステム、UVリソグラフィ
• 半導體加工、高温用ビューポート

認証と適合

• RoHS適合
• カスタム計測レポートはご要望に応じて提供可能

パッケージング

• 個別に静電防止フォームで包装されています
• 頑丈で粉砕耐性のある容器で出荷

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