Composants céramiques pour semi-conducteurs

  • Precision machined alumina ceramic block for semiconductor equipment.
  • Custom designed zirconia ceramic ring with multiple holes for industrial use.
  • Engineered ceramic support part for high-temperature processing.
  • Two hexagonal silicon nitride ceramic insulators with mounting holes.
  • Large custom ceramic base plate with precision cutouts for vacuum chambers.
  • Curved alumina ceramic guide component for specialized industrial machinery.
  • Small precision ceramic clamp or fixture for semiconductor assembly.
  • Complex machined ceramic vortex or flow control component.

    • Composants céramiques pour semi-conducteurs

    Des composants céramiques de précision, usinés à partir d’Alumine de haute pureté (Al2O3), Zirconia (ZrO2) et Silicon Nitride (Si3N4), sont conçus pour des applications exigeantes dans les domaines des semi-conducteurs, des hautes températures et du vide. Offrant des performances thermiques, électriques et mécaniques supérieures, nos pièces sur mesure conviennent idéalement à des environnements critiques comme le gravage au plasma et les chambres à vide.

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    Basic Dimensions

    • Selon le dessin (tailles et géométries personnalisées)

    Propriétés des matériaux

    • Matériau de base: Al₂O₃ (céramique d'alumine) / Optionnel: ZrO₂, Si₃N₄
    • Densité ≥3.90 g/cm³
    • Résistance à la flexion: ≥350 MPa
    • Conductivité thermique: 24-30 W/(m·K)
    • Résistance diélectrique: ≥15 kV/mm

    Tolérance et qualité de la surface

    • Concentricité: ≤0.05 mm (DE et DI)
    • Parallelism: ≤0.03 mm (faces supérieure et inférieure)
    • Rugosité de la surface: Ra ≤0.4 μm

    Tests de performance clés

    • Inspection dimensionnelle: Selon ISO 286-2
    • Test du taux de fuite ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (Spectrométrie de masse d'hélium)
    • Résistance au choc thermique: ΔT ≥300°C (5 cycles, pas de fissures)

    Applications

    • Traitement des semi-conducteurs: Cavités à vide, composants de gravure au plasma
    • Environnements à haute température: ≤1600°C (Dépendant du matériau)

    Emballage et manutention

    • Emballage en salle blanche Classe 100 ou supérieure
    • Antistatique Conteneurs anti-ESD

    Déclaration de conformité
    Conforme à SEMI F47-0706 (Composants céramiques pour équipements semi-conducteurs)

    Clause de non-responsabilité
    La personnalisation est disponible sur demande. Les paramètres critiques marqués par “□” nécessitent une confirmation explicite.

    Demande rapide

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