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quartz fondu, buses & injecteurs de fluide pour les semi-conducteurs
Nos buses et injecteurs de fluide en quartz fondu, fabriqués avec précision, sont conçus pour des applications exigeantes dans les semi-conducteurs, ALD/CVD et le traitement chimique. Ces composants de haute pureté offrent une inertie chimique exceptionnelle, une stabilité thermique et une distribution précise des fluides, garantissant des performances optimales dans des environnements critiques.
Informations à fournir pour un devis
- Dessin (PDF/STEP) ou dimensions clés (OD / ID / Longueur)
- Détails de l'orifice : diamètre, quantité, espacement, position ; style d'embout ; ports latéraux
- Environnement opérationnel : vide, plasma et produits chimiques ; température maximale ; comportement du flux cible.
- Tolérances critiques et exigences de finition de surface
Spécifications clés
- Matériau: Silice fondue de haute pureté (quartz, SiO₂); certificat de matériau disponible sur demande
- Géométrie: Droit / à marches / conique / en forme de L; entièrement personnalisé selon le dessin
- Dimensions: Selon le dessin (sur commande); épaisseur de paroi uniforme selon le design
- Conseils et orifices: Un seul ou plusieurs orifices, percés au laser ou gravés ; taille et espacement selon le dessin
- Caractéristiques: Ensembles de perforations latérales, ports latéraux, brides/filets/collars, bouchons d'extrémité ou extrémités hemisphériques (facultatif).
- Finition de la surface: Polissage au chalumeau / meulage / polissage (OD/ID) selon les besoins; bords ébavurés
- Rectitude et concentricité: Selon le dessin; dépendant de la géométrie (nous pouvons conseiller des tolérances faisables)
- Propreté: Nettoyage ultrasonique; emballage compatible avec Classe 100; protecteurs d'embouts
- Marquage: ID de pièce laser ou direction d'écoulement sur demande
Propriétés du matériau (typiques)
- Haute transmittance optique et très faible dilatation thermique
- Excellente inertie chimique face aux acides, aux bases et aux solvants organiques (sauf HF)
- Résistant à haute température et aux cycles thermiques
- Isolation électrique et faible dégazage pour des procédés propres
Applications
Fourniture de précurseurs ALD/CVD et outils plasma. Micro-réacteurs et instrumentation analytique, dosage précis de produits chimiques en vide ou dans des environnements à haute température.
Notes de traitement et de conception
- Orifices produits par perforation/gravure au laser; bords sans bavures ni éclats
- Recuit de détente des contraintes et nettoyage acide disponibles
- Des rayons de raccord aux transitions nettes sont recommandés pour réduire la concentration de contraintes
- Concentricité/rectitude contrôlées selon le dessin; conseils pratiques sur les tolérances disponibles
Inspection et essais
- Inspection dimensionnelle : diamètre extérieur/diamètre intérieur/longueur; taille et espacement des orifices
- Tests optionnels : test de fuite d'hélium (pour assemblages sous vide), vérification du débit et vérification de la biréfringence et des contraintes.
- Inspection visuelle à 100% des éclats, fissures et contamination
Conditionnement et stockage
- Emballage antistatique sous vide avec mousse amortissante et protection de la pointe. Conserver dans un environnement sec (<40% RH) à 10–30 °C.
Remarques
Configurations personnalisées (motifs de trous, revêtements ou marquages supplémentaires) disponibles sur demande.
Certificats de conformité (RoHS, ISO 9001) fournis pour les commandes en gros
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