Quartz fondu Espaces de galettes et tiges d'empilement

  • Multiple clear Fused Quartz cylindrical shafts with precise spiral grooves, designed for wafer stacking.

    • Quartz fondu Espaces de galettes et tiges d'empilement

    Entretoises pour wafers en quartz fondu et tiges d'empilement conçues pour la séparation des wafers, le séchage et la manutention par lots dans des cabines humides, des fours de diffusion et des procédés à haute température. Fabriqués à partir de silice fondue de haute pureté et conçus pour une faible génération de particules, ces composants maintiennent les wafers espacés de manière uniforme, prévenant les rayures et offrant des performances propres et thermiquement stables dans des environnements critiques.

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    Informations à fournir pour un devis

    • Dessin (PDF/STEP) ou dimensions clés : diamètre de la tige/ barre ou largeur × longueur ; pas de rainure/éraillure, largeur et profondeur ; largeur de la zone de contact
    • Taille des galettes et espacement cible (nombre de galettes par tige, hauteur totale de la pile)
    • Caractéristiques finales : tenon/épaulement de diamètre réduit, surfaces planes et anti-basculement, trous traversants, filetages ou rainures de montage
    • Finition de surface sur les zones de contact (polie contre meulée), rayons d'arête et chanfreins pour protéger les bords des wafers
    • Environnement opérationnel : produits chimiques (chimies sur banc humide). Profil de vide/température et niveau de propreté.
    • Tolérances critiques : uniformité du pas des rainures, rectitude/concentricité, déflexion admissible sous charge.
    • Quantité (prototype ou série), rapports d'inspection requis, niveau d'emballage

    Spécifications clés

    • Matériau: quartz fondu de haute pureté (SiO₂); certificat du matériau disponible sur demande
    • Géométrie: Des tiges rondes ou des barres plates avec des rainures/stries usinées. Entretoises optionnelles, butées ou surfaces d'alignement; assemblages monobloc ou fusionnés par flamme
    • Dimensions: Dessin sur commande avec épaisseur uniforme de la section pour la stabilité thermique
    • Surfaces de contact: Faces polies et arêtes arrondies pour minimiser les micro‑éclats et les rayures
    • Extrémité et options de montage: Tenons/épaulements pour cadres, extrémités filetées ou traversantes, surfaces anti-rotation, identification de la pièce par laser sur demande.
    • Propreté: Nettoyage ultrasonique/DI; emballage compatible Class-100

    Propriétés du matériau (typiques)

    • Très faible dilatation thermique et bonne tolérance aux chocs thermiques
    • Excellente résistance chimique à la plupart des milieux de procédé (remarque: HF attaque le quartz fondu)
    • Isolant électrique, faible dégazage; surfaces optiquement propres

    Notes de traitement et de conception

    • Ajustez le rayon de la rainure et la largeur de la zone de contact à la géométrie du bord de la plaquette. Évitez les transitions nettes.
    • Conservez un pas de rainures uniforme pour garantir un espacement et un flux d’air et de rinçage constants; ajoutez des reliefs de drainage lorsque nécessaire.
    • Spécifiez la déflexion admissible sous charge complète. Utilisez une section plus large ou des nervures si la rigidité est critique.
    • Ventilez tous les trous aveugles utilisés dans des outils sous vide pour éviter les fuites virtuelles
    • Recuit de détente et polissage des arêtes recommandés pour une longue durée de vie lors des cycles thermiques

    Inspection et essais

    • Vérification dimensionnelle : diamètre et longueur de la tige, pas/largeur/profondeur des rainures, tailles et positions des caractéristiques finales.
    • Contrôles de rectitude/concentricité et déviation sous charge représentative
    • Inspection visuelle à 100 % des éclats, microfissures, inclusions et contaminations
    • Optionnel : certification de propreté, évaluation de la biréfringence/stress

    Applications

    Empilement et séparation de plaquettes dans des bancs humides, fours de diffusion/oxidation/cuisson, dispositifs de séchage et de transport, racks de stockage temporaires et manipulation de précision dans des lignes de haute pureté

    Conditionnement et stockage

    Protecteurs et séparateurs de surface de contact; emballage antistatique, scellé sous vide avec une protection extérieure rigide. Conserver au sec (<40 % d'humidité relative) à 10–30 °C et à l’écart des produits chimiques contenant du HF.

    Remarques
    Configurations personnalisées (motifs de trous, revêtements ou marquages supplémentaires) disponibles sur demande.
    Certificats de conformité (RoHS, ISO 9001) fournis pour les commandes en gros

    Demande rapide

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