Supports en quartz fondu et porte-procédés

  • Clear Fused Quartz support frame with multiple angled bars and flat mounting points, held by a gloved hand

    • Supports en quartz fondu et porte-procédés

    Le quartz fondu offre des supports, cadres et porte-supports conçus pour le traitement des plaquettes, CVD, outils plasma, bancs humides et fours à haute température. Construit à partir de silice fondue de haute pureté et assemblé par fusion par flamme de précision, ces fixations offrent une excellente stabilité thermique, une inertie chimique et un contrôle dimensionnel strict — fournissant un support propre et stable et une manipulation fiable dans des environnements critiques.

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    Informations à fournir pour un devis

    • Dessin (PDF/STEP) ou dimensions clés : taille globale, diamètre du rail ou de la barre, hauteur de dégagement, points d'interface
    • Charge utile et interface : taille/poids de la pièce à maintenir (wafer/boat/substrate). Nombre de points de contact et jeux cibles
    • Mode d'utilisation : support statique vs manipulation par transfert/robot; motif de montage ou conception de crochet/pied
    • Environnement: produits chimiques, vide/pression, température maximale et profil de cycle thermique
    • Surface et contact : tampons polis vs finition usinée; rayons d'arête et chanfreins pour prévenir les rayures
    • Tolérances critiques : planéité/rectitude, parallélisme, déflexion admissible sous charge
    • Quantité (prototype ou lot), rapports d'inspection requis, niveau d'emballage/propreté

    Spécifications clés

    • Matériau: quartz fondu de haute pureté (SiO₂); certificat du matériau disponible sur demande
    • Géométrie: Cadres, rayonnages, berceaux, porte-équipements et entretoises croisées. Ensemble monolithiques ou fondus à la flamme
    • Dimensions: Dessin sur commande avec épaisseur uniforme de la section pour la stabilité thermique
    • Caractéristiques: Entretoises/pieds, rails, languettes/crochets, clés d'alignement ou goupilles, poches d'allégement, trous de drainage et de ventilation
    • Construction : Usinage de précision avec des joints lisses et sans copeaux. Le recuit de détente des contraintes est disponible.
    • Finition de la surface: Bords polis au chalumeau; pastilles de contact polies pour une manipulation sans rayures; rayons ébavurés sur tous les points de contact
    • Propreté: Nettoyage ultrasonique/DI; emballage compatible avec Class-100; ID de la pièce laser optionnel / marque d'orientation

    Propriétés du matériau (typiques)

    • Très faible dilatation thermique et bonne tolérance aux chocs thermiques
    • Excellente résistance chimique à la plupart des milieux de procédé (remarque: HF attaque le quartz fondu)
    • Isolant électriquement, à faible dégazage; surfaces optiquement propres pour des outils sensibles à la contamination.

    Notes de traitement et de conception

    • Maintenez l’épaisseur de la paroi et de la tige uniforme et ajoutez des rayons généreux aux joints pour minimiser la concentration de contraintes
    • Définir la taille/finition de la pastille de contact et l'écart admissible par rapport à la charge utile pour éviter les micro-puces et les pièges à particules
    • Utilisez des entretoises croisées ou des nervures lorsque la rigidité et la faible déflexion sont critiques; indiquez la déflexion cible sous charge
    • Ventilez des cavités aveugles ou des orifices exposés au vide pour éviter les fuites virtuelles
    • Nous pouvons recommander des tolérances pratiques pour la planéité, la rectitude, le parallélisme et le faux-rond en fonction de la taille, de la géométrie et de la charge.

    Inspection et essais

    • Vérification dimensionnelle : taille globale, hauteur d’écartement, espacement des rails et des tiges, positions des trous ; vérifications de la rectitude et du parallélisme
    • Inspection visuelle: contrôle à 100 % des éclats, microfissures, inclusions et contamination.
    • Optionnel : évaluation de la biréfringence/stress ; test de charge/déflexion ; rapport de propreté

    Applications

    Barque à wafers et supports de substrats, cadres de la zone chaude du four, racks et porte-charges du banc humide, dispositifs de transfert pour manipulation robotisée ou manuelle, et dispositifs d’alignement et d’écartement dans les outils CVD/etch/clean.

    Conditionnement et stockage

    Capuchons de protection sur les extrémités de contact, protège-bord et séparateurs; emballage antistatique, sous vide, avec une protection extérieure rigide. Conserver sec (<40% RH) à 10–30 °C et à l'abri des produits chimiques contenant du HF.

    Remarques
    Configurations personnalisées (motifs de trous, revêtements ou marquages supplémentaires) disponibles sur demande.
    Certificats de conformité (RoHS, ISO 9001) fournis pour les commandes en gros

    Demande rapide

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