Chambres de pulvérisation et de réaction en quartz fondu

Informations à fournir pour un devis

• Dessins (PDF/STEP) ou dimensions clés. Diamètre/hauteur du récipient, épaisseur des parois et forme du couvercle bombé/plat
• Ports et connexions : quantités, emplacements et tailles ; type de joint (conique/joint à rotule), raccord pour tuyau à collerette, ou bride KF/ISO/CF
• Caractéristiques internes : type de buse de pulvérisation, tube d'immersion ou diffuseur, déflecteurs/mélangeurs, répartiteurs de flux, géométrie du drain et du puisard
• Conditions de procédé : produits chimiques/gaz, débits ciblés, vide/pression admissible, température maximale, niveau de propreté
• Instrumentation/fenêtres : thermowell, viseur/port de visualisation, port d'échantillonnage; exigences relatives à la gorge du joint torique ou à la surface d'étanchéité
• Tolérances critiques: planéité et parallélité des faces d’étanchéité, concentricité et déviation des cols et des ports
• Quantité (prototype ou lot), rapports d'inspection requis et niveau d'emballage

Spécifications clés

• Matériau: quartz fondu de haute pureté (SiO₂); certificat du matériau disponible sur demande
• Configurations : Cavités cylindriques ou en dôme sphérique; couvercles simples ou à ports multiples. Collecteurs intégrés ou risers; options de vidange ou de puisard.
• Connexions: Joints en verre poli, liaison boule-douille, embouts pour tuyau, brides KF/ISO/CF ou adaptateurs personnalisés
• Matériel interne: Gicleurs/injecteurs, tubes plongeurs, diffuseurs/spargeurs, cloisons, redresseurs d'écoulement—conformément au dessin
• Construction : Usinage de précision avec des transitions fondues à la flamme; recuit de détente des contraintes disponible.
• Surfaces et propreté: Surfaces mouillées et lisses sans copeaux; nettoyage ultrasonique/DI; emballage compatible Class-100
• Note de service: Conçu pour un service sous vide ou à basse pression. Toute classification de pression dépend de la conception et des essais.

Propriétés du matériau (typiques)

• Résistance chimique exceptionnelle et faibles extractables (remarque : HF attaque le quartz fondu)
• Très faible dilatation thermique avec une bonne tolérance aux chocs thermiques
• Isolant électriquement, optiquement clair et à faible dégazage — idéal pour des applications de haute pureté.

Notes de traitement et de conception

• Utilisez des rayons généreux aux jonctions pour réduire les tensions et les pièges de particules. Polissez les surfaces en contact avec le liquide pour minimiser l'émission de particules
• Définissez le motif/angle de pulvérisation, la taille cible des gouttelettes et les objectifs de temps de séjour lors de la spécification des buses et des déflecteurs
• Ajouter une ventilation sur les cavités aveugles et les éléments filetés pour éviter les fuites virtuelles en service sous vide
• Fournissez une pente de drainage et une géométrie du puisard pour éviter l'accumulation de liquide; envisagez des caractéristiques anti-reflux si nécessaire
• Choisissez les normes de connexion correspondant à votre plomberie en aval et à vos pratiques d'entretien.
• Nous pouvons recommander des tolérances pratiques pour la planéité de la face d'étanchéité, la concentricité du port et l'alignement, en fonction de la taille et de la géométrie.

Inspection et essais

• Vérification dimensionnelle : taille du récipient, positions des ports, concentricité du col et géométrie de la face d'étanchéité.
• Tests optionnels : test de fuite d'hélium (ensembles sous vide). Test de débit/tenue ou de décroissance de la pression selon la conception
• Inspection visuelle: contrôle à 100 % des éclats, microfissures, inclusions et contamination.
• Évaluation optionnelle de la biréfringence et de la contrainte et certification de propreté

Applications

Pulvérisation et mélange des précurseurs pour ALD/CVD, pulvérisation chimique humide, gravure et rinçage, contact vapeur-liquide, micro-réacteurs, épuration des gaz et systèmes analytiques/de laboratoire nécessitant une grande pureté et un accès visuel

Conditionnement et stockage

Capuchons de protection sur les ports; emballage antistatique sous vide avec mousse amortissante et protection extérieure rigide. Conservez au sec (<40% d'humidité relative) à 10–30 °C et à l'abri des produits chimiques contenant du HF.

Demande rapide

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