Anneaux en quartz fondu et composants de procédé

  • White gloved hand holding a semi-transparent Fused Quartz ring with a double-grooved profile
  • Semi-transparent Fused Quartz ring plate with multiple clear cylindrical supports and a central opening
  • Semi-transparent Fused Quartz ring plate with a large central opening and outer edge cutouts

    • Anneaux en quartz fondu et composants de procédé

    Anneaux de quartz fondu et composants de procédé conçus pour des applications dans les domaines des semi-conducteurs, du gravage par plasma et du vide. Usinés à partir de silice fondue de haute pureté selon vos plans, ces pièces offrent une excellente stabilité thermique, une inertie chimique et un contrôle dimensionnel précis — idéaux pour le scellement, l’écartement, le blindage et la manipulation dans des environnements à haute température et corrosifs.

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    Informations à fournir pour un devis

    • Dessin (PDF/STEP) ou dimensions clés : OD / ID / épaisseur. Toute marche, lèvre ou rebord.
    • Fonction et interface : largeur et finition de la zone d'étanchéité. Jeu anneau-pièce et pièces d'accouplement (tube, plaque, porte, mors).
    • Caractéristiques: motif de boulons (BCD, nombre de trous), trous évasés et contre-perçages, encoches/clé(s) d'alignement, trous de ventilation, rainures pour joint torique
    • Éléments optionnels : entretoises/piliers, poches, géométrie d'ombre et lèvre, écrans anti-éclaboussures, ID de la pièce laser/marque d'orientation
    • Conditions de fonctionnement : niveau de vide / pression, plasma/chimie, température maximale, objectif de propreté.
    • Tolérances critiques : planéité, parallélité, concentricité/déviation circulaire. Qualité de surface requise sur les faces fonctionnelles.
    • Quantité (prototype ou série), rapports d'inspection requis, niveau d'emballage

    Spécifications clés

    • Matériau: quartz fondu de haute pureté (SiO₂); certificat du matériau disponible sur demande
    • Géométrie: Anneaux plats, anneaux à lèvre simple ou double, plaques en forme de beignet avec ouvertures, anneaux avec entretoises/tétons ou boucliers intégrés; assemblages monolithiques ou fusionnés par flamme
    • Dimensions: D’après le dessin (sur commande); épaisseur uniforme de la section pour la stabilité thermique
    • Arêtes et surfaces: rebords polissés par la flamme; surfaces d'étanchéité et d'observation polies; rayons lisses pour minimiser la génération de particules
    • Montage et alignement: Cercles de boulons précis, avellages/contre-avellages, caractéristiques de goupilles; marquage laser optionnel
    • Propreté: Nettoyage ultrasonique/DI; emballage compatible Class-100
    • Variante: Quartz fondu opaque (OP) disponible lorsque une protection thermique supplémentaire est nécessaire

    Propriétés du matériau (typiques)

    • Très faible expansion thermique, bonne tolérance aux chocs thermiques
    • Excellente résistance chimique à la plupart des milieux de procédé (remarque: HF attaque le quartz fondu)
    • Isolant électrique, à faible dégazage; optiquement propre lorsque la transparence est nécessaire.

    Notes de traitement et de conception

    • Définir la largeur et la finition de la zone d'étanchéité et toute géométrie de rainure pour joint torique afin d'atteindre le débit de fuite cible
    • Ventilez les trous borgnes ou filetés exposés au vide pour éviter les fuites virtuelles
    • Conservez une épaisseur de paroi uniforme et des rayons internes généreux pour réduire les contraintes
    • Les entretoises et les posts améliorent l'espacement et le flux d'air. Veuillez préciser la hauteur et le diamètre, ainsi que la finition de la pointe.
    • Nous pouvons recommander des tolérances réalisables pour la planéité, le parallélisme, la coaxialité et le runout en fonction de la taille et de la géométrie

    Inspection et essais

    • Vérification dimensionnelle: OD/ID/thickness, step heights/widths, bolt circle, hole Ø/positions; post/standoff height
    • Contrôle de la planéité et de la parallélité des faces d'étanchéité et de référence; déviation par rapport au datum
    • Inspection visuelle à 100 % des éclats, microfissures, inclusions et contaminations
    • Optionnel : test de fuite d'hélium (assemblage), vérification de la finition de surface, évaluation de la biréfringence et de la contrainte, rapport de propreté

    Applications

    Anneaux d'étanchéité pour les extrémités de four et de tube et les portes sous vide, anneaux d'espacement et de soutien, écrans anti-éclaboussures et anti-particules, anneaux d'alignement et de manipulation. Plaques protectrices en forme d'anneau pour la gravure, CVD/PECVD, diffusion/oxydation, sous-systèmes de banc humide et de métrologie.

    Conditionnement et stockage

    Protecteurs de bord et séparateurs; emballage antistatique, scellé sous vide avec une protection extérieure rigide. Conserver au sec (<40% HR) à 10–30 °C et à l'abri des produits chimiques contenant du HF.

    Remarques
    Configurations personnalisées (motifs de trous, revêtements ou marquages supplémentaires) disponibles sur demande.
    Certificats de conformité (RoHS, ISO 9001) fournis pour les commandes en gros

    Demande rapide

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