Anneaux opaques en quartz fondu (OP) pour des procédés à haute température

  • Opaque Fused Quartz ring with a prominent central groove, resting on a dark surface

    • Anneaux opaques en quartz fondu (OP) pour des procédés à haute température

    Anneaux OP (opaque) en quartz fondu pour applications haute température et haute pureté, comme étanchéité de fours semi-conducteurs, supports d'extrémité de tube et écrans thermiques. Fabriqués en quartz fondu opacifié de haute pureté avec structure homogène de microbulles, ils assurent stabilité thermique, résistance chimique et contrôle dimensionnel strict pour un fonctionnement fiable et sans contamination

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    Informations à fournir pour un devis

    • Dessin (PDF/STEP) ou dimensions clés. Diamètre extérieur/intérieur, épaisseur et hauteurs/largeurs des marches.
    • Pièces d'accouplement et d'interface : tube de four OD/ID, plaque de porte, surfaces de serrage, détails du joint ou de la rainure
    • Caractéristiques: profils à double lèvre et à marches, encoches/clé d'alignement, trous pour boulons et cavités coniques, orifices d’aération, chanfreins/biseaux.
    • Conditions d'exploitation : température maximale, profil de cycles thermiques, atmosphère/produits chimiques.
    • Tolérances critiques : planéité, parallélisme, concentricité/déviation radiale ; fini de surface requis sur les surfaces d’étanchéité
    • Quantité (prototype ou lot). Rapports d'inspection requis; niveau d'emballage/propreté.

    Spécifications clés

    • Matériau: Opaque (opacifié) quartz fondu de haute pureté (SiO₂); certificat de matériau disponible sur demande.
    • Géométrie: Anneaux plats, anneaux à marches ou à lèvre, anneaux à double lèvre, construction segmentée ou monolithique. Entièrement personnalisés selon le dessin
    • Surfaces fonctionnelles: Zones d'étanchéité usinées et polies pour un contact stable; rayons de courbure lisses pour réduire la génération de particules
    • Fonction thermique: Une structure à micro-bulles améliore la diffusion IR et l'isolation thermique, contribuant à stabiliser la température de la zone chaude et à réduire les pertes de chaleur.
    • Assemblage: Usinage de précision avec des joints fondus à la flamme lorsque nécessaire; recuit de détente des contraintes disponible
    • Propreté: Nettoyage ultrasonique/DI; emballage compatible Class-100 avec des protège-bords

    Propriétés du matériau (typiques)

    • Bonne stabilité thermique et faible dilatation thermique; bonne tolérance aux chocs thermiques
    • Excellente inertie chimique envers la plupart des gaz/produits chimiques de procédé (note : HF attaque le quartz fondu)
    • Isolant électrique, faible dégazage; opacification uniforme pour un comportement thermique cohérent.

    Notes de traitement et de conception

    • Conservez l'épaisseur de section uniforme. Utilisez des rayons internes généreux pour minimiser la concentration de contraintes.
    • Préciser la ventilation et les contre-perçages sur les trous traversants exposés au vide afin d'éviter les fuites virtuelles
    • Définir la largeur et la finition de la zone d'étanchéité, ainsi que l'entrejeu admissible entre l'anneau et le tube afin de maintenir l'étanchéité et l'alignement.
    • Définir la largeur et la finition de la zone d'étanchéité, ainsi que l'entrejeu admissible entre l'anneau et le tube afin de maintenir l'étanchéité et l'alignement.
    • Nous pouvons conseiller des tolérances réalisables pour la planéité, le parallélisme, la concentricité et le faux rond en fonction de la taille et de la géométrie

    Inspection et essais

    • Vérification dimensionnelle (OD/ID/épaisseur; hauteurs/largeurs des marches; emplacements des points de référence)
    • Vérifications de la planéité et du parallélisme et de la déviation radiale des surfaces d’étanchéité et des faces de référence
    • Inspection visuelle des éclats, microfissures et inclusions; évaluation de l'uniformité de l'opacification.
    • Optionnel : évaluation de la biréfringence/contraintes ; rapport de vérification de la propreté

    Applications

    Fermeture et soutien de l'extrémité du tube du four. Anneaux de zone chaude LPCVD/oxydation, boucliers/reflecteurs thermiques, interfaces porte-platine; procédés de diffusion et de recuit nécessitant une grande pureté et des champs de température stables.

    Conditionnement et stockage

    Séparateurs d’anneaux et protections de bord; emballage antistatique, sous vide avec une protection extérieure rigide. Conservez au sec (<40% RH) à 10–30 °C et loin des produits chimiques contenant du HF.

    Remarques
    Configurations personnalisées (motifs de trous, revêtements ou marquages supplémentaires) disponibles sur demande.
    Certificats de conformité (RoHS, ISO 9001) fournis pour les commandes en gros

    Demande rapide

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