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Couvercles de dôme et couvercles de procédé en quartz fondu
Coupoles et couvercles de process en quartz fondu pour outillages semi‑conducteurs haute pureté, ensembles optiques et chambres haute température. Fabriqués en quartz fondu de haute pureté avec bords lisses sans éclats, ces dômes offrent une stabilité thermique exceptionnelle, une inertie chimique et un ajustement précis, assurant une vision claire, une étanchéité fiable et une protection en environnements sensibles.
Informations à fournir pour un devis
- Fournir un dessin (PDF/STEP) ou les cotes clés : diamètre extérieur, diamètre/largeur de bride, hauteur de flèche (rayon de courbure), épaisseur de paroi.
- Style de dôme : hémisphérique, peu profond/large ou en ménisque ; avec ou sans bride ou anneau ; zone d'observation claire ou dépolie.
- Interface d'étanchéité : dimensions/position de la gorge du joint torique, largeur/finition de la zone d'étanchéité, surface d'accouplement et agencement des boulons le cas échéant.
- Besoins optiques (si applicable) : niveau de polissage sur la zone d'observation, cible scratch-dig, planéité/courbure/irrégularité de la surface.
- Préciser les conditions d'exploitation, y compris vide/pression admissible, gaz/processus chimiques, température maximale et cycles thermiques, ainsi que le niveau de propreté requis.
- Tolérances critiques : runout/concentricité, parallélisme/planéité de la bride, uniformité d'épaisseur et tolérance du profil du dôme.
- Quantité (prototype ou lot), rapports d'inspection requis et niveau d'emballage
Spécifications clés
- Matériau: Quartz fondu de haute pureté (SiO₂) ; certificat matière disponible sur demande. En option, quartz fondu de qualité UV pour la transmission dans l'UV lointain.
- Géométrie: Dômes hémisphériques ou peu profonds; dômes avec brides/anneaux intégrés; couvercles à ouverture circulaire ou sur mesure; assemblages monolithiques ou fusionnés à la flamme.
- Surfaces: Zones d'observation polies optiquement ; surfaces d'étanchéité rectifiées/polies ; zones optionnelles sablées/gravées pour diffuser la lumière.
- Bords: Bords polis au feu et rayons généreux pour minimiser la génération de particules et l'écaillage.
- Propreté: Nettoyage par ultrasons/eau déionisée; emballage compatible Class-100
- Note de service: Typiquement pour le vide ou une faible pression positive. Toute valeur nominale de pression dépend de la conception et des essais.
Propriétés du matériau (typiques)
- Très faible dilatation thermique et bonne tolérance aux chocs thermiques
- Excellente résistance chimique à la plupart des milieux de procédé (remarque: HF attaque le quartz fondu)
- Isolant électrique, faible dégazage ; excellente clarté optique de l'UV à l'IR (selon le grade).
Notes de traitement et de conception
- Définir si le rayon du dôme se réfère à la surface intérieure ou extérieure ; maintenir une épaisseur de paroi uniforme pour réduire les contraintes.
- Précisez le polissage de la zone de visualisation et toute spécification optique (p. ex., scratch-dig 60-40 ou mieux) uniquement là où c'est nécessaire pour maîtriser les coûts
- Ajoutez une ventilation aux éléments borgnes (trous de boulon/contre-alésages) exposés au vide afin d’éviter les fuites virtuelles.
- Utilisez des joints et colliers souples et prévoyez la dilatation thermique pour éviter les contraintes lors des cycles thermiques.
- Nous pouvons recommander des tolérances réalisables pour la hauteur du profil/de la flèche, la planéité/le parallélisme de la bride, la concentricité et le faux‑rond en fonction de la taille.
Inspection et essais
- Vérification dimensionnelle : OD, géométrie de la bride, hauteur/rayon de flèche, épaisseur, taille/position de la rainure et emplacements du cercle de boulons.
- Contrôles de planéité/parallelisme sur les portées d'étanchéité ; profil de la coupole et faux-rond par rapport au datum
- Inspection optique de la zone de visualisation (qualité du polissage, défauts) selon spécifications
- Contrôle visuel à 100 % pour éclats, microfissures, inclusions et contamination. Rapports optionnels de propreté et de biréfringence/contrainte.
Applications
Inspection et usinage de couvercles pour etch/CVD/RTP et chambres à vide, fenêtres optiques et boîtiers de lampes, protection contre les projections/particules et couvercles de réacteurs haute température.
Conditionnement et stockage
Protections de bords et films protecteurs sur les zones de visualisation/étanchéité; emballage antistatique, scellé sous vide avec protection extérieure rigide. Conserver au sec (<40% RH) à 10–30 °C et à l'écart des produits chimiques contenant du HF.
Remarques
Configurations personnalisées (motifs de trous, revêtements ou marquages supplémentaires) disponibles sur demande.
Certificats de conformité (RoHS, ISO 9001) fournis pour les commandes en gros
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