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Plaques courbes en quartz fondu et gaines de tubes de four
Plaques courbes en quartz fondu et doublures de demi-tube conçues pour des environnements à haute température et à haute pureté dans les outils de semiconducteurs, le traitement chimique et les fours industriels. Manufacturées à partir de silice fondue de haute pureté, avec des bords lisses et sans éclats, ces pièces offrent une excellente stabilité thermique, une inertie chimique et un ajustement précis — assurant une protection fiable, un flux propre et une longue durée de service.
Informations à fournir pour un devis
- Dessin (PDF/STEP) ou dimensions clés : rayon intérieur/extérieur (ou ID/OD du tube), angle de l'arc (par ex. 90°/120°/180°), longueur, épaisseur
- Géométrie : plaque courbe unique, demi-tube, quart de cylindre ou liner segmenté ; joint par recouvrement ou joint bout à bout
- Détails des extrémités et des arêtes : extrémités carrées ou arrondies, lèvres ou brides, languettes, chanfrein/biseau; toute fente, trou ou ouverture.
- Interface et ajustement : diamètre du tube d'accouplement ou taille du cadre, écart cible entre liner et paroi, zones de contact et d'appui, méthode de montage ou de serrage
- Conditions d'exploitation: chimie, température maximale et cycles thermiques, vide/pression (le cas échéant), niveau de propreté.
- Tolérances critiques : précision de profil/rayon, rectitude, parallélisme et circularité/déviation le long de l'arc
- Quantité (prototype ou lot); rapports d'inspection demandés et niveau d'emballage
Spécifications clés
- Matériau: quartz fondu de haute pureté (SiO₂); certificat du matériau disponible sur demande
- Géométrie: Des plaques incurvées, des gaines demi-tube, des sections au quart, des manchons divisés et des segments d'arc personnalisés. Les assemblages peuvent être monolithiques ou à fusion par flamme.
- Dimensions: D'après le dessin (sur mesure) avec une épaisseur de paroi uniforme pour la stabilité thermique
- Arêtes et surfaces: rebords polis au feu; faces fonctionnelles usinées ou polies. Rayons doux pour minimiser la génération de particules.
- Fonctionnalités optionnelles: Orifices de soulagement/ventilation, encoches/clés d'alignement, rainures pour joint torique ou zones d'étanchéité, languettes de localisation.
- Variantes: Quartz fondu opaque (OP) disponible pour une protection thermique accrue; quartz fondu clair pour l inspection visuelle
- Propreté: Nettoyage ultrasonique/DI; emballage compatible Class-100
Propriétés du matériau (typiques)
- Très faible dilatation thermique avec une bonne tolérance aux chocs thermiques
- Excellente résistance chimique à la plupart des milieux de procédé (remarque: HF attaque le quartz fondu)
- Isolant électrique, à faible émission de gaz; optiquement propre lorsque la transparence est requise
Notes de traitement et de conception
- Définir si le rayon est référencé à intérieur ou extérieur surface; maintenir l'épaisseur de paroi uniforme pour réduire le stress
- Autoriser des jeux d'expansion et un serrage conforme pour éviter les contraintes pendant les cycles thermiques
- Appliquez des rayons généreux sur les transitions et ébavurez toutes les arêtes pour éviter l'écaillage et les pièges à particules.
- Pour des liners segmentés, indiquez la superposition et l'espacement des joints, ainsi que toute caractéristique anti-rotation.
- Nous pouvons recommander des tolérances réalisables pour le rayon et le profil, la planéité et la rectitude, et le faux-rond, en fonction de la taille et de la géométrie.
Inspection et essais
- Vérification dimensionnelle : rayon/angle d'arc/longueur/épaisseur; tolérance de profil le long de l'arc; positions des trous et des rainures
- Contrôles de planéité et de rectitude sur des surfaces de référence; cirularité et déviation par rapport au plan de référence
- Inspection visuelle à 100 % des éclats, microfissures, inclusions et contaminations
- Optionnel : évaluation de la biréfringence et de la tension et rapport de propreté
Applications
Revêtements intérieurs des tubes de four et manches séparables, écrans thermiques et protections contre les éclaboussures, déflecteurs protecteurs, fenêtres courbes ou guides pour des procédés de haute pureté et de haute température (diffusion/oxidation/CVD, postes humides et fours de laboratoire)
Conditionnement et stockage
Protecteurs de bord et séparateurs incurvés; emballage antistatique scellé sous vide avec protection externe rigide. Stocker au sec (<40 % d'humidité relative) à 10–30 °C et éviter les produits chimiques contenant du HF.
Remarques
Configurations personnalisées (motifs de trous, revêtements ou marquages supplémentaires) disponibles sur demande.
Certificats de conformité (RoHS, ISO 9001) fournis pour les commandes en gros
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