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12 inch quartz fondu Wafers & Optical Substrates
Nos wafers en quartz fondu de haute pureté de 12-inch et de substrats optiques sont conçus pour des applications exigeantes dans la fabrication de semi-conducteurs, les systèmes optiques et les MEMS. Ils offrent une exceptionnelle transparence UV, une faible expansion thermique et une surface de haute qualité, garantissant des performances précises et sans contamination dans des environnements critiques de traitement, de test et de lithographie.
Matériau
- Matériau de base : quartz fondu synthétique de haute pureté (SiO₂ ≥99.99%)
- Qualité optique: transparence UV avec faible teneur en OH
Dimensions
- Diamètre :100 mm ±0.05 mm
- Épaisseur: 3 mm ±0.05 mm
- Traitement des arêtes : chanfrein fini ≤0.3 mm
Propriétés physiques
- Densité: 2.2 g/cm³
- Dureté: Mohs 5.5-6.5
- Expansion thermique: 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-300°C)
- Point de ramollissement: 1683°C
Propriétés optiques
- Gamme de transmission: 190 nm (UV) à 2500 nm (IR)
- Indice de réfraction: 1.458 @ 587.6 nm (nd)
- Scratch-Dig: 60/40 (MIL-PRF-13830B)
- Planéité de la surface: λ/4 @ 632.8 nm
Spécifications de surface
- Rugosité Ra: ≤5 Å (surfaces polies)
- Parallélisme : ≤1 arcmin
Résistance chimique
- Résistant aux acides (sauf HF), à l'eau et aux solvants organiques
Applications
- Fenêtres optiques, systèmes laser, lithographie UV
- Traitement des semi-conducteurs, fenêtres d'observation à haute température
Certifications et Conformité
- conforme à RoHS
- Rapports de métrologie personnalisés disponibles sur demande
Emballage
- Emballé individuellement dans une mousse antistatique
- Expédié dans des récipients rigides et à l'épreuve de l'écrasement
Remarques
Évitez les chocs mécaniques ou le contact direct avec des objets tranchants
Nettoyer avec IPA ou de l'acétone en utilisant des lingettes sans peluches
Pour des données techniques complètes ou des demandes personnalisées, contactez email