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Différences essentielles entre le quartz de grade semi-conducteur et le quartz fondu standard
Pureté de la matière première

Le quartz fondu de grade semiconductor nécessite une pureté extrêmement élevée; la teneur en SiO₂ dépasse généralement 99,99 %, et les applications avancées peuvent nécessiter une pureté de 99,995 % à 99,999 %, les impuretés métalliques totales devant être maintenues à des niveaux en ppm ou sub-ppm, en particulier les métaux alcalins tels que Na, K et Li, qui sont strictement limités car ils peuvent diffuser pendant le traitement à haute température et contaminer la plaquette.
Le quartz fondu standard contient généralement 99.5%–99.9% de SiO₂, avec des dizaines à des centaines de ppm d’impuretés, ce qui est acceptable pour une utilisation industrielle générale mais pas pour le traitement des semi-conducteurs.
La teneur en hydroxyle (OH) est un autre indicateur clé de pureté. Le quartz pour semi-conducteurs exige souvent des niveaux d'OH compris entre 5 et 50 ppm, selon la température d'application; le quartz fondu standard, en particulier le matériau fondu par flamme, peut contenir des centaines de ppm d'OH, ce qui diminue la stabilité à haute température et accélère la dévitrification.
Processus de fabrication

Le quartz de grade semiconducteur repose sur des matières premières ultra-pures et des procédés de purification en plusieurs étapes tels que la lixiviation acide, la séparation magnétique, le traitement thermique et un raffinage avancé. Des matériaux haut de gamme peuvent être produits à partir de précurseurs synthétiques tels que SiCl₄ afin de garantir une teneur en impuretés extrêmement faible et une uniformité optique exceptionnelle.
La fusion électrique est couramment utilisée pour le quartz fondu destiné aux semiconducteurs, car elle minimise les contaminations et produit un matériau à faible teneur en OH. La fusion par flamme est plus couramment utilisée pour les produits standard en quartz, mais elle introduit des niveaux d’OH plus élevés et des impuretés liées à la flamme.
Après la mise en forme, le quartz fondu destiné aux semi-conducteurs subit généralement des traitements supplémentaires tels que recuit de précision, déshydroxylation à haute température et traitement ultra-propre pour minimiser les tensions internes et la contamination de la surface. Les produits standard en quartz fondu reçoivent généralement seulement un recuit et un nettoyage de base.
Propriétés physiques
Propriétés thermiques
Les deux matériaux partagent l'expansion thermique intrinsèquement faible du quartz fondu, ce qui permet une excellente résistance au choc thermique. Cependant, le quartz de grade semi-conducteur montre une stabilité accrue lors de cycles prolongés à haute température grâce à sa teneur plus faible en impuretés et en OH, tandis que le quartz standard est plus sujet à la déformation et à la devitrification lors d'expositions répétées à des températures élevées.
Résistance mécanique
La résistance mécanique du quartz est fortement influencée par des défauts internes tels que des bulles et des inclusions. Le quartz pour semi-conducteurs impose des limites strictes à la taille et à la densité des bulles, garantissant une fiabilité accrue sous les contraintes thermiques et mécaniques; le quartz standard tolère davantage de défauts internes, ce qui est acceptable pour des applications générales mais inadapté aux environnements des semi-conducteurs.
Transmission optique
Le quartz de haute pureté offre une transmission supérieure allant du profond ultraviolet jusqu'aux longueurs d'onde infrarouges. Le quartz fondu standard présente une absorption accrue dans la plage UV due à des impuretés métalliques et une transparence infrarouge réduite due à la teneur élevée en OH, et les applications optiques dans le domaine des semi-conducteurs, telles que les substrats de masques de photolithographie, exigent l'uniformité optique exceptionnelle qui ne peut être obtenue qu'avec du quartz fondu de très haute pureté.
Propriétés électriques
Les deux matériaux sont d'excellents isolants électriques. Le quartz de grade semi-conducteur présente une perte diélectrique plus faible et des propriétés diélectriques plus stables à haute fréquence et à haute température, en raison de son contenu d'impuretés extrêmement faible.
Propriétés chimiques
Le quartz fondu est extrêmement résistant à la plupart des acides, à l'exception de l'acide fluorhydrique. Il présente également une bonne résistance à la plupart des gaz et des environnements réactifs utilisés dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs.
Le quartz fondu pour les semi-conducteurs offre des avantages supplémentaires: une teneur en impuretés très faible signifie une désgasification minimale dans les systèmes sous vide et une meilleure stabilité chimique dans les environnements plasma. Le quartz standard a tendance à absorber plus d'humidité en raison d'un contenu en hydroxyle de surface plus élevé et peut libérer des contaminants pendant le chauffage, ce qui est inacceptable dans les équipements pour semi-conducteurs.
Différences d'application
Le quartz fondu de qualité semiconducteur est utilisé dans l’ensemble de la fabrication des plaquettes, notamment les tubes de four de diffusion, les bateaux en quartz, les doublures, les composants du réacteur CVD, les pièces de gravure au plasma et les tuyauteries de haute pureté. Les creusets en quartz de haute pureté sont essentiels pour la croissance du silicium monocristallin, et leur pureté influe directement sur la qualité du cristal.
Le quartz fondu ultra pur est également nécessaire pour les composants optiques des systèmes de photolithographie.
Le quartz fondu standard est largement utilisé dans les équipements de laboratoire, l’éclairage, les lampes UV, les tubes de chauffage, les fenêtres optiques et les applications industrielles nécessitant une température élevée et une stabilité chimique, mais des niveaux d’impuretés ultra faibles ne sont pas nécessaires.
Facteurs de prix et de la chaîne d'approvisionnement

Le quartz fondu de grade semiconducteur est nettement plus cher en raison de la rareté des matières premières, des procédés de purification complexes et des coûts de production élevés. L’offre de quartz de haute pureté est dominée par quelques grands producteurs mondiaux et les gisements naturels adaptés sont extrêmement rares; la demande des marchés des industries des semiconducteurs et photovoltaïque contribue également à maintenir la pression sur les prix.
Le quartz fondu standard repose sur des ressources abondantes de sable de quartz et sur des technologies de fabrication matures, ce qui garantit un approvisionnement stable et à faible coût.


