Appelez-nous : +86 0518-87284110
Barres diffuseuses de gaz et barres de ventilation en quartz fondu
Nos diffuseurs de gaz en quartz fondu sur mesure et nos tiges d'évacuation précises sont conçus pour des applications exigeantes de haute pureté dans la fabrication de semi-conducteurs, le gravage par plasma et le traitement chimique. Fabriqués à partir de quartz fondu de pureté ultra élevée, ces composants offrent une inertie chimique supérieure, une stabilité thermique exceptionnelle et une géométrie précise des caractéristiques pour une distribution précise du gaz et du liquide et un contrôle du flux dans des environnements critiques.
Matériau
- Matériau de base : quartz fondu synthétique de haute pureté (SiO₂ ≥99.99%)
- Qualité optique: transparence UV avec faible teneur en OH
Dimensions
- Diamètre :100 mm ±0.05 mm
- Épaisseur: 3 mm ±0.05 mm
- Traitement des arêtes : chanfrein fini ≤0.3 mm
Propriétés physiques
- Densité: 2.2 g/cm³
- Dureté: Mohs 5.5-6.5
- Expansion thermique: 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-300°C)
- Point de ramollissement: 1683°C
Propriétés optiques
- Gamme de transmission: 190 nm (UV) à 2500 nm (IR)
- Indice de réfraction: 1.458 @ 587.6 nm (nd)
- Scratch-Dig: 60/40 (MIL-PRF-13830B)
- Planéité de la surface: λ/4 @ 632.8 nm
Spécifications de surface
- Rugosité Ra: ≤5 Å (surfaces polies)
- Parallélisme : ≤1 arcmin
Résistance chimique
- Résistant aux acides (sauf HF), à l'eau et aux solvants organiques
Applications
- Fenêtres optiques, systèmes laser, lithographie UV
- Traitement des semi-conducteurs, fenêtres d'observation à haute température
Certifications et Conformité
- conforme à RoHS
- Rapports de métrologie personnalisés disponibles sur demande
Emballage
- Emballé individuellement dans une mousse antistatique
- Expédié dans des récipients rigides et à l'épreuve de l'écrasement
Remarques
Évitez les chocs mécaniques ou le contact direct avec des objets tranchants
Nettoyer avec IPA ou de l'acétone en utilisant des lingettes sans peluches
Pour des données techniques complètes ou des demandes personnalisées, contactez email