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Fenêtres en quartz fondu et composants de chambre
Nos fenêtres en quartz fondu de précision et nos composants de chambre sur mesure sont conçus pour des applications exigeantes dans la fabrication de semi-conducteurs, le gravage au plasma et les systèmes sous vide. Construites à partir de quartz fondu de haute pureté, ces plaques de 12-inch offrent une transparence UV-Vis exceptionnelle, une stabilité thermique et une résistance chimique, garantissant un accès optique précis et des performances fiables dans des environnements critiques à haute température et corrosifs.
Matériau
- Matériau de base : quartz fondu synthétique de haute pureté (SiO₂ ≥99.99%)
- Qualité optique: transparence UV avec faible teneur en OH
Dimensions
- Diamètre :100 mm ±0.05 mm
- Épaisseur: 3 mm ±0.05 mm
- Traitement des arêtes : chanfrein fini ≤0.3 mm
Propriétés physiques
- Densité: 2.2 g/cm³
- Dureté: Mohs 5.5-6.5
- Expansion thermique: 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-300°C)
- Point de ramollissement: 1683°C
Propriétés optiques
- Gamme de transmission: 190 nm (UV) à 2500 nm (IR)
- Indice de réfraction: 1.458 @ 587.6 nm (nd)
- Scratch-Dig: 60/40 (MIL-PRF-13830B)
- Planéité de la surface: λ/4 @ 632.8 nm
Spécifications de surface
- Rugosité Ra: ≤5 Å (surfaces polies)
- Parallélisme : ≤1 arcmin
Résistance chimique
- Résistant aux acides (sauf HF), à l'eau et aux solvants organiques
Applications
- Fenêtres optiques, systèmes laser, lithographie UV
- Traitement des semi-conducteurs, fenêtres d'observation à haute température
Certifications et Conformité
- conforme à RoHS
- Rapports de métrologie personnalisés disponibles sur demande
Emballage
- Emballé individuellement dans une mousse antistatique
- Expédié dans des récipients rigides et à l'épreuve de l'écrasement
Remarques
Évitez les chocs mécaniques ou le contact direct avec des objets tranchants
Nettoyer avec IPA ou de l'acétone en utilisant des lingettes sans peluches
Pour des données techniques complètes ou des demandes personnalisées, contactez email