Quartz fondu, mors à vide et disques de maintien de wafers de 12 pouces

  • Clear, circular 12-inch Fused Quartz vacuum suction disc with internal etched radial lines, angled on a blue surface

    • Quartz fondu, mors à vide et disques de maintien de wafers de 12 pouces

    Nos porte-plaquettes sous vide en quartz fondu de précision et disques porte-plaquettes de 12-inch sont conçus pour des applications exigeantes dans la manipulation de plaquettes semi-conductrices, le gravage et d'autres industries de haute technologie. Fabriqués en quartz fondu de haute pureté, ces composants assurent une manipulation sans contamination et sans rayures, offrant une stabilité thermique exceptionnelle et une inertie chimique pour des performances fiables en vide et à haute température.

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    Matériau

    • Matériau de base : quartz fondu synthétique de haute pureté (SiO₂ ≥99.99%)
    • Qualité optique: transparence UV avec faible teneur en OH

    Dimensions

    • Diamètre :100 mm ±0.05 mm
    • Épaisseur: 3 mm ±0.05 mm
    • Traitement des arêtes : chanfrein fini ≤0.3 mm

     Propriétés physiques

    • Densité: 2.2 g/cm³
    • Dureté: Mohs 5.5-6.5
    • Expansion thermique: 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-300°C)
    • Point de ramollissement: 1683°C

    Propriétés optiques

    • Gamme de transmission: 190 nm (UV) à 2500 nm (IR)
    • Indice de réfraction: 1.458 @ 587.6 nm (nd)
    • Scratch-Dig: 60/40 (MIL-PRF-13830B)
    • Planéité de la surface: λ/4 @ 632.8 nm

    Spécifications de surface

    • Rugosité Ra: ≤5 Å (surfaces polies)
    • Parallélisme : ≤1 arcmin

    Résistance chimique

    • Résistant aux acides (sauf HF), à l'eau et aux solvants organiques

    Applications

    • Fenêtres optiques, systèmes laser, lithographie UV
    • Traitement des semi-conducteurs, fenêtres d'observation à haute température

    Certifications et Conformité

    • conforme à RoHS
    • Rapports de métrologie personnalisés disponibles sur demande

    Emballage

    • Emballé individuellement dans une mousse antistatique
    • Expédié dans des récipients rigides et à l'épreuve de l'écrasement

    Remarques
    Évitez les chocs mécaniques ou le contact direct avec des objets tranchants
    Nettoyer avec IPA ou de l'acétone en utilisant des lingettes sans peluches
    Pour des données techniques complètes ou des demandes personnalisées, contactez email

    Demande rapide

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