Fused Quartz Vacuum Chucks & Handling Plates

  • Close-up of a clear Fused Quartz plate with complex internal fluidic channels and two circular ports, held by a gloved hand
  • Clear Fused Quartz rectangular frame or support component with a large central cutout and multiple perimeter holes.
  • Top-down view of a clear, square Fused Quartz plate with an intricate concentric circular and radial etched pattern, resembling a fan guard
  • Clear, rectangular Fused Quartz plate with a precise grid of small square openings and circular standoffs, held by a gloved hand.

    • Fused Quartz Vacuum Chucks & Handling Plates

    Our precision custom Fused Quartz vacuum chucks, plates, and handling fixtures are engineered for demanding applications in semiconductor wafer processing, etching, and other high-tech industries. Crafted from high-purity Fused Quartz, these components ensure contamination-free, scratch-free handling, offering exceptional thermal stability and chemical inertness for reliable performance in vacuum and high-temperature environments

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    Basic Dimensions

    • Outer Diameter (OD): 300.0 mm ±0.1
    • Inner Diameter (ID): 210.0 mm ±0.1
    • Height (H): 6.35 mm ±0.05

    Propriétés des matériaux

    • Matériau de base: Al₂O₃ (céramique d'alumine) / Optionnel: ZrO₂, Si₃N₄
    • Densité ≥3.90 g/cm³
    • Résistance à la flexion: ≥350 MPa
    • Conductivité thermique: 24-30 W/(m·K)
    • Résistance diélectrique: ≥15 kV/mm

    Tolérance et qualité de la surface

    • Concentricité: ≤0.05 mm (DE et DI)
    • Parallelism: ≤0.03 mm (faces supérieure et inférieure)
    • Rugosité de la surface: Ra ≤0.4 μm

    Tests de performance clés

    • Inspection dimensionnelle: Selon ISO 286-2
    • Test du taux de fuite ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (Spectrométrie de masse d'hélium)
    • Résistance au choc thermique: ΔT ≥300°C (5 cycles, pas de fissures)

    Applications

    • Traitement des semi-conducteurs: Cavités à vide, composants de gravure au plasma
    • Environnements à haute température: ≤1600°C (Dépendant du matériau)

    Emballage et manutention

    • Emballage en salle blanche Classe 100 ou supérieure
    • Antistatique Conteneurs anti-ESD

    Déclaration de conformité
    Conforme à SEMI F47-0706 (Composants céramiques pour équipements semi-conducteurs)

    Clause de non-responsabilité
    La personnalisation est disponible sur demande. Les paramètres critiques marqués par “□” nécessitent une confirmation explicite.

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