Appelez-nous : +86 0518-87284110
Anneaux de support en quartz fondu de précision et composants de procédé
Anneaux de support en quartz fondu et composants de procédé conçus pour la fabrication de semi-conducteurs, le gravage par plasma et d'autres environnements à haute température et grande pureté. Usinés à partir de silice fondue de haute pureté et optimisés pour la rigidité et le flux, ces éléments offrent une excellente stabilité thermique, une inertie chimique et un contrôle dimensionnel précis—assurant un support fiable, un espacement et un flux de procédé.
Informations à fournir pour un devis
- Dessin (PDF/STEP) ou dimensions clés : OD / ID / épaisseur. Toute marche, lèvre ou rebord.
- Fonction et interface : pièces d'accouplement (mandrin/platine/tube). Espacement cible entre l'anneau et la pièce, zones d'étanchéité et d'appui
- Caractéristiques : cercle de boulons et diamètre/quantité des orifices ; fraisage conique / épaulement cylindrique ; clés d'alignement / encoches ; trous de ventilation et de drainage
- Détails du flux et de la rigidité : nervures, fentes et entretoises (hauteur/espacement). Poches de réduction de poids et exigences liées au trajet du flux d'air.
- Conditions d'exploitation : chimie sous vide/plasma, température maximale, objectif de propreté
- Tolérances critiques : planéité, parallélisme et concentricité / déviation de course. Finition superficielle des surfaces fonctionnelles.
- Quantité (prototype ou série), rapports d'inspection requis, niveau d'emballage
Spécifications clés
- Matériau: Quartz fondu de haute pureté (SiO₂); certificat de matériau disponible sur demande
- Géométrie: Anneaux plats ou à marches; styles à double lèvre/rebord; anneaux avec nervures/fentes/entretoises; plaques en forme de beignet avec ouvertures; assemblages monolithiques ou fusionnés par flamme
- Dimensions: Dessin sur commande avec épaisseur uniforme de la section pour la stabilité thermique
- Caractéristiques du Flux et du Support Des nervures radiales et des fentes longitudinales pour un flux de gaz maîtrisé et une rigidité accrue. Des orifices de ventilation régulièrement espacés pour prévenir les fuites virtuelles et améliorer l’efficacité de la purge.
- Arêtes et surfaces: rebords polis au feu; faces fonctionnelles ébauchées et polies; rayons arrondis lisses pour minimiser la génération de particules
- Alignement et montage: Patrons de boulons précis, évidements coniques et alésages borgnes; caractéristiques des goupilles. Identification par laser de la pièce et marque d’orientation en option.
- Variante: quartz fondu opaque (OP) disponible lorsque un blindage thermique supplémentaire est nécessaire
- Propreté: Nettoyage ultrasonique/DI; emballage compatible Class-100
Propriétés du matériau (typiques)
- Très faible dilatation thermique et bonne tolérance aux chocs thermiques
- Excellente résistance chimique à la plupart des milieux de procédé (remarque: HF attaque le quartz fondu)
- Isolant électrique, à faible émission de gaz; optiquement propre lorsque la transparence est requise
Notes de traitement et de conception
- Maintenez l'épaisseur de paroi uniforme et utilisez des rayons internes généreux pour réduire la concentration des contraintes.
- Définissez la largeur de la zone d’appui/finition et toute géométrie de rainure pour joint torique afin d’obtenir le taux de fuite cible si utilisé pour l’étanchéité
- Orifices de ventilation aveugles/filetés exposés au vide pour éviter les fuites virtuelles
- Les nervures/entretoises améliorent la rigidité et l'espacement—indiquez la hauteur, l'épaisseur et l'espacement; ajoutez des poches de réduction de poids lorsque la masse est une préoccupation
- Nous pouvons recommander des tolérances réalisables pour la planéité, le parallélisme, la coaxialité et le runout en fonction de la taille et de la géométrie
Inspection et essais
- Vérification dimensionnelle : diamètre extérieur/diamètre intérieur et épaisseur, hauteurs et largeurs des marches. Espacement des nervures et des rainures, cercle de boulons et positions des trous.
- Contrôles de planéité et de parallélisme sur les faces de référence et d’étanchéité; déviation radiale par rapport au datum
- Inspection visuelle à 100 % des éclats, microfissures, inclusions et contaminations
- Optionnel : test de fuite d'hélium (assemblage), vérification de la finition de surface, évaluation de la biréfringence et de la contrainte, rapport de propreté
Applications
Anneaux de support et d'espacement sur mors/plaques, anneaux de conditionnement du flux et de purge pour outils plasma/CVD, écrans anti-éclaboussures/particules, anneaux d'alignement et de manipulation pour porte-plaquettes et porte-procédés dans des environnements à haute température ou corrosifs
Conditionnement et stockage
Protections des bords et séparateurs; emballage antistatique, scellé sous vide avec une protection externe rigide. Conservez au sec (<40% RH) à 10–30 °C; éloignez-vous des produits chimiques contenant HF.
Remarques
Configurations personnalisées (motifs de trous, revêtements ou marquages supplémentaires) disponibles sur demande.
Certificats de conformité (RoHS, ISO 9001) fournis pour les commandes en gros
Français 
English 
Español 
Deutsch 
Русский 
العربية 
Português do Brasil 
日本語 
한국어 
繁體中文