Couvercles d’anneau en quartz fondu et plaques de protection

Couvercles d’anneau en quartz fondu et plaques de protection

Capuchons d'anneaux en quartz fondu et plaques de protection pour les équipements semi-conducteurs, les systèmes sous vide et les assemblages optiques. Fabriqués à partir de silice fondue de haute pureté et usinés selon vos dessins, ces composants transparents offrent une excellente clarté optique, une stabilité thermique, une inertie chimique et un ajustement précis, fournissant une étanchéité fiable, une protection contre les éclaboussures et un accès visuel dans des environnements sensibles.


Informations à fournir pour un devis

  • Dessin (PDF/STEP) ou dimensions clés : Ø extérieur, Ø intérieur/ouverture, épaisseur
  • Patron de boulons Ø (BCD), trou Ø/quantité, fente ou style d'alésage libre, détails d'avellage et d'alésage cylindrique
  • Caractéristiques d'étanchéité : dimension et position de la rainure pour joint torique, largeur et finition de la surface d'étanchéité, interface du joint torique
  • Options fonctionnelles : zone de fenêtre d'observation, rebords surélevés/marches, encoches/clés d'alignement, orifices de ventilation pour éviter les fuites virtuelles
  • Conditions de fonctionnement : niveau de vide/pression, produits chimiques, température, objectif de propreté
  • Tolérances critiques : planéité, parallélisme, concentricité/déviation ; qualité de surface sur les zones d’étanchéité et optiques
  • Quantité (prototype ou lot), rapports d'inspection obligatoires, niveau d'emballage

Spécifications clés

  • Matériau: Quartz fondu de haute pureté (SiO₂); certificat de matériau disponible sur demande
  • Géométrie: Capuchons d'anneau ronds ou polygonaux, donuts, plaques pleines avec ouverture centrale; assemblages à pièce unique ou à plusieurs pièces selon le dessin
  • Dimensions: D’après le dessin (sur commande); épaisseur uniforme de la section pour la stabilité thermique
  • Arêtes et surfaces: rebords polis au chalumeau; faces d'étanchéité et surfaces d'observation usinées et polies afin de minimiser les particules et d'améliorer l'intégrité du joint
  • Montage et alignement: Patrons de boulons précis, évasages et alésages coniques, caractéristiques de goupilles/locateurs; identification de la pièce par laser en option / marque d’orientation
  • Propreté: Nettoyage ultrasonique/DI et emballage compatible Classe 100

Propriétés du matériau (typiques)

  • Excellente résistance chimique à la plupart des milieux de procédé (remarque: HF attaque le quartz fondu)
  • Très faible dilatation thermique et bonne tolérance aux chocs thermiques
  • Isolant électrique, faible dégazage. Haute clarté optique pour l'observation et l'alignement。

Notes de traitement et de conception

  • Largeur et finition de la zone d'étanchéité et géométrie de la rainure pour joint torique
  • Ajouter une ventilation sur les caractéristiques aveugles exposées au vide pour éviter les fuites virtuelles
  • Utilisez des rayons internes généreux et des arêtes ébavurées pour réduire les contraintes et la génération de particules
  • Nous pouvons conseiller des tolérances réalisables pour la planéité, le parallélisme, la concentricité et le faux rond en fonction de la taille et de la géométrie

Inspection et essais

  • Vérification dimensionnelle : Ø extérieur/Ø intérieur/épaisseur, cercle de boulons, Ø du trou/position, taille/position de la rainure
  • Planéité et parallélisme des surfaces d'étanchéité et optiques
  • Inspection visuelle à 100 % des éclats, microfissures, inclusions et contaminations
  • Optionnel : test de fuite d’hélium (assemblage), vérification de la finition de la surface, rapport de propreté.

Applications

Couvercles de chambre et visores, plaques de protection en forme d'anneau, écrans anti-éclaboussures pour bancs humides, interfaces de portes sous vide, plaques optiques et d'alignement dans des sous-systèmes de métrologie ou de lithographie

Conditionnement et stockage

Garde-bords et films de protection sur les zones optiques et d'étanchéité; emballage antistatique, sous vide, avec une protection extérieure rigide. Conservez au sec (<40 % d'humidité relative) à 10–30 °C; éloignez-vous des produits chimiques contenant du HF.

Remarques
Configurations personnalisées (motifs de trous, revêtements ou marquages supplémentaires) disponibles sur demande.
Certificats de conformité (RoHS, ISO 9001) fournis pour les commandes en gros

Demande rapide

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