Buses et composants fluidiques

  • Frosted Fused Quartz nozzle with a precise internal channel and side port.
  • Clear Fused Quartz rectangular block with multiple internal threaded channels and fluidic pathways

    • Buses et composants fluidiques

    Buses en quartz fondu, têtes de pulvérisation, injecteurs, diffuseurs et collecteurs fluidiques conçus pour les outils de semiconducteurs, ALD/CVD, bancs humides et systèmes chimiques/de laboratoire. Construits à partir de silice fondue de haute pureté et usinés avec précision selon votre dessin, ces éléments offrent une excellente inertie chimique, une stabilité thermique et une alimentation propre et précise des gaz et des liquides sous vide et dans des environnements à haute température.

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    Informations à fournir pour un devis

    • Dessins (PDF/STEP) ou dimensions clés : taille du corps, épaisseur de paroi, emplacements des ports
    • Milieu et cibles: gaz/liquide, plage de débit, pression/vide, mode cône de pulvérisation ou jet
    • Détails de l'orifice : diamètre, quantité, espacement, position ; orifice unique ou orifices multiples ; diffuseur interne / sparger si nécessaire
    • Détails du collecteur/du canal (le cas échéant) : disposition, forme de la section transversale, zones de mélange, limites de volume mort
    • Types de connexions : extrémités filetées, embouts pour tuyau, raccords de compression, brides KF/ISO ou adaptateurs personnalisés
    • Tolérances critiques et finition de surface des zones mouillées; niveau de propreté
    • Quantité (prototype ou lot), rapports d'inspection, niveau d'emballage

    Spécifications clés

    • Matériau: quartz fondu de haute pureté (SiO₂); certificat du matériau disponible sur demande
    • Types: Buses/injecteurs, têtes de pulvérisation, diffuseurs/spargeurs, collecteurs de distribution, micro-réacteur ou blocs de mélange
    • Dimensions: D'après le dessin (sur mesure) avec une épaisseur de paroi uniforme pour la stabilité thermique
    • Orifices et passages Percé au laser ou gravé; matrices d'orifices simples ou multiples; géométrie du canal selon la conception.
    • Connexions: Raccords filetés, embouts à collerette (barbs), interfaces de compression ou à bride; caractéristiques d'alignement et identification de la pièce laser sur demande
    • Finition de la surface: rebords polis au chalumeau; surfaces mouillées ou polies pour minimiser la génération de particules
    • Construction : Usinage de précision avec joints fusionnés par flamme. Des plaques de couverture adhésives optionnelles pour les conceptions de collecteurs
    • Propreté: Nettoyage ultrasonique/DI; emballage compatible Class-100
    • Note de service: Conçu pour un service sous vide ou à basse pression. Toute classification de pression dépend de la conception et des essais.

    Propriétés du matériau (typiques)

    • Excellente résistance chimique à la plupart des acides, des bases et des solvants organiques (note : le HF attaque le quartz fondu)
    • Très faible expansion thermique avec une grande tolérance au choc thermique
    • Isolant électrique, faible dégazage; surfaces optiquement propres

    Notes de traitement et de conception

    • Utilisez des rayons généreux lors des transitions internes pour réduire les contraintes et les pièges de particules
    • Conservez les longueurs des passages et les sections transversales cohérentes afin d'obtenir une répartition du flux uniforme
    • Ventilez les perforations exposées au vide pour éviter les fuites virtuelles ; indiquez le débit de fuite acceptable
    • Sélectionnez les normes de connexion compatibles avec la tuyauterie en aval. Évitez les filetages tranchants sur les sections minces
    • Nous pouvons indiquer des tolérances pratiques pour la taille/écartement de l'orifice, la concentricité, la rectitude et la finition de surface en fonction de la géométrie.

    Inspection et essais

    • Vérification dimensionnelle : taille du corps, positions des ports, taille et espacement des orifices ; géométrie des canaux (pour les collecteurs).
    • Optionnel : test de fuite d'hélium (ensembles sous vide). Test de pression/tenue selon la conception et caractérisation du débit
    • Inspection visuelle à 100 % des éclats, microfissures, inclusions et contaminations
    • Certificats de propreté et traçabilité des matériaux disponibles

    Applications

    Injection et distribution de gaz de procédé, alimentation des précurseurs ALD/CVD. Gravure par pulvérisation et rinçage, mélange et dosage microfluidiques, collecteurs vapeur et liquide pour instruments analytiques et lignes chimiques de haute pureté.

    Conditionnement et stockage

    Emballage antistatique, sous vide, avec une mousse amortissante et des bouchons de protection sur les ports et les orifices. Conservez au sec (<40% RH) à 10–30 °C; éloignez-vous des produits chimiques contenant HF.

    Remarques
    Configurations personnalisées (motifs de trous, revêtements ou marquages supplémentaires) disponibles sur demande.
    Certificats de conformité (RoHS, ISO 9001) fournis pour les commandes en gros

    Demande rapide

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    Disponibles 24/7 par e-mail ou par téléphone pour vous assister dans l'achat de nos produits en verre de quartz, pour des solutions, pour des problèmes d'utilisation ou pour fournir un support technique.

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