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Quartz fondu Réacteurs, Échangeurs de chaleur et Bubblers
Réacteurs en quartz fondu, échangeurs de chaleur et bulleurs personnalisés, conçus pour des outils semi-conducteurs, le traitement chimique et l'utilisation en laboratoire. Construits à partir de silice fondue ultra-pure et assemblés par fusion à flamme de précision, ces composants complexes offrent une résistance chimique exceptionnelle, une stabilité thermique et une manipulation propre et précise des fluides/vapeur en vide et en environnements à haute température.
Informations à fournir pour un devis
- Dessins (PDF/STEP) ou dimensions clés et disposition (diamètre extérieur/diamètre intérieur du tube, longueurs, géométrie de la bobine ou du faisceau, taille du réservoir)
- Conditions de procédé: gaz/produits chimiques, température maximale, niveau de vide/pression admissible, débits cibles et charge thermique
- Types de connexion : joints en verre poli, bille/douille, brides KF/ISO/CF ou adaptateurs personnalisés
- Caractéristiques internes : longueur du tube d'immersion, diffuseur à orifices multiples, déflecteurs, bobines/gaine et puits thermométriques/ports d'observation.
- Tolérances critiques : concentricité, rectitude, parallélisme, spécification du taux de fuite
- Quantité (prototype ou lot). Rapports d'inspection requis; niveau d'emballage/propreté.
Spécifications clés
- Matériau: quartz fondu de haute pureté (SiO₂); certificat du matériau disponible sur demande
- Configurations :
Réacteurs: Récipients droits ou à manteau, collecteurs à ports multiples, bobines intégrées ou déflecteurs.
Échangeurs de chaleur styles de bobinage, en serpentin ou tube-dans-tube; faisceaux de tubes multiples; collecteurs d'entrée et de sortie
Bulleurs: conceptions à port unique ou double avec tube d’immersion interne/dispersionneur; sortie de vapeur au-dessus du niveau du liquide - Connexions: Raccords coniques standard, articulations boule et douille, brides KF/ISO/CF, embouts pour tuyau à collerette ou terminaisons personnalisées.
- Assemblage: Joints et transitions fondus par flamme de précision; recuit de soulagement des contraintes disponible
- Surface et propreté: Bords lisses et sans éclats; nettoyage ultrasonique/DI; emballage compatible avec Classe-100
- Limites de conception D’après le dessin; destiné à un service sous vide ou à basse pression—les pressions admissibles sont définies par la conception et le plan de test.
Propriétés du matériau (typiques)
- Inertie chimique exceptionnelle (remarque : HF attaque le quartz fondu)
- Haute stabilité thermique avec une très faible dilatation thermique
- Isolant électriquement, à faible émission de gaz; surfaces optiquement propres adaptées à des applications de haute pureté.
Notes de traitement et de conception
- Utilisez des rayons généreux aux jonctions pour réduire les contraintes et les pièges à particules
- Ajoutez des évents pour éviter les fuites virtuelles dans les trajets sous vide; indiquez l'objectif de taux de fuite souhaité.
- Le pas de la bobine, l'espacement des tubes et l'épaisseur des parois doivent refléter le transfert de chaleur requis et la perte de charge
- Pour les bulleurs, définissez le niveau du liquide, la profondeur d’immersion du tube plongeur et la taille de bulle souhaitée (type de diffuseur).
- Choisir les normes de joints et de brides pour correspondre à l'équipement en aval et aux pratiques de maintenance
Inspection et essais
- Vérification dimensionnelle (OD/ID du tube, longueurs, géométrie de la bobine, positions des ports)
- Test de fuite d'hélium sur demande (service sous vide); test optionnel de flux et de maintien de la pression selon la conception
- Vérification de la biréfringence et des tensions. Inspection visuelle des éclats, fissures, inclusions et contamination.
- Vérification de la propreté et des certificats d'emballage disponibles
Applications
Approvisionnement en précurseurs ALD/CVD (bubblers), génération de vapeur et dépuration, échange de chaleur dans des lignes corrosives ou de haute pureté, micro-réacteurs, traitement de laboratoire et à l’échelle pilote
Conditionnement et stockage
Emballage antistatique, scellé sous vide, avec mousse amortissante et protection rigide pour les pièces fragiles. Gardez au sec (<40% RH) à 10–30 °C et éloignez-vous des produits chimiques contenant du HF.
Remarques
Configurations personnalisées (motifs de trous, revêtements ou marquages supplémentaires) disponibles sur demande.
Certificats de conformité (RoHS, ISO 9001) fournis pour les commandes en gros