Tubes de four en quartz fondu pour le CVD des semi-conducteurs

  • Large, clear Fused Quartz furnace tube with multiple complex branches and a frosted end.

    • Tubes de four en quartz fondu pour le CVD des semi-conducteurs

    Nos tubes de four en quartz fondu de haute pureté sont conçus sur mesure pour des procédés exigeants de traitement de plaquettes semiconductrices, de recuit à haute température, de CVD et de fours de diffusion. Ils résistent jusqu'à 1200°C (pic 1450°C), résistent aux acides et aux gaz corrosifs et offrent une faible dilatation thermique pour la stabilité dimensionnelle dans le vide ou les environnements à basse pression; des modifications personnalisées sont disponibles.

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    Spécifications du matériau

    • Matériau principal: quartz fondu (SiO₂ ≥ 99.9%)
    • Densité 2.2 g/cm³
    • Stabilité thermique Résiste au choc thermique jusqu'à 1200°C (utilisation continue)

    Dimensions

    • Diamètre extérieur: 415 mm / ±1.5 mm
    • Diamètre intérieur: 405 mm / ±1.0 mm
    • Épaisseur de la paroi: 5 mm / ±0.5 mm
    • Longueur : 2300 mm / ±5 mm

    Paramètres techniques

    • Température maximale de fonctionnement: 1200°C (pic à court terme : 1450°C)
    • Résistance à la pression: Résiste à 1 atm (environnements sous vide ou à basse pression)
    • Coefficient de dilatation thermique: 0.55 × 10⁻⁶ /°C (20–1000°C)
    • Finition de la surface: Lisse, non poreux, lavé à l'acide

    Caractéristiques clés

    • Pureté ultra-élevée pour les processus sensibles à la contamination
    • Excellente résistance chimique aux acides, aux halogènes et à la plupart des gaz corrosifs
    • Une faible expansion thermique assure la stabilité dimensionnelle

    Applications

    • Traitement des plaquettes semiconductrices
    • Recuit à haute température, fours CVD ou diffusion
    • Recherche en laboratoire et industries optiques

    Emballage et manutention

    • Emballage: Caisse en bois rembourrée en mousse
    • Stockage: Garde-le au sec, évite la lumière directe du soleil et stocke horizontalement

    Remarques

    • Évitez les chocs mécaniques ou variations rapides de température (>200°C/min)
    • Modifications personnalisées (par exemple, brides, revêtements) disponibles sur demande.

    Pour un support technique détaillé ou des commandes en gros, veuillez contacter notre équipe d'ingénierie.

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