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Componentes de zafiro para exigencias industriales extremas

Tuguan
agosto 13, 2025

Three translucent sapphire glass steps or support rings with central holes and flared bases.

Assortment of clear sapphire components, including circular base parts with central posts and smaller conical pieces.

Three clear, rectangular sapphire glass components with raised, open box-like structures.

Componentes de zafiro para exigencias industriales extremas

Placas cerámicas de cobertura de precisión, fabricadas a partir de alúmina de alta pureza (Al2O3), zirconia (ZrO2) o nitruro de silicio (Si3N4), están diseñadas para procesos críticos de semiconductores, vacío y grabado por plasma. Estas placas a medida ofrecen propiedades superiores en términos térmicos, eléctricos y mecánicos, cumpliendo normas industriales estrictas para aplicaciones exigentes a altas temperaturas.

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Basic Dimensions

Outer Diameter (OD): 300.0 mm ±0.1
Inner Diameter (ID): 210.0 mm ±0.1
Height (H): 6.35 mm ±0.05

Propiedades del material

Material de base: Al₂O₃ (cerámica de alúmina) / Opcional: ZrO₂, Si₃N₄
Densidad ≥3.90 g/cm³
Resistencia a la flexión: ≥350 MPa
Conductividad térmica: 24-30 W/(m·K)
Resistencia dieléctrica: ≥15 kV/mm

Tolerancia y calidad de la superficie

Concentricidad: ≤0.05 mm (DE frente a DI)
Paralelismo ≤0.03 mm (superficies superiores e inferiores)
Rugosidad de la superficie: Ra ≤0.4 μm

Pruebas de rendimiento clave

Inspección dimensional: Según ISO 286-2
Prueba de tasa de fuga ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (Espectrometría de masas de helio)
Resistencia al choque térmico: ΔT ≥300°C (5 ciclos, sin grietas)

Aplicaciones

Procesamiento de semiconductores: Cámaras de vacío, componentes de grabado por plasma
Entornos de alta temperatura: ≤1600°C (dependiente del material)

Embalaje y manipulación

Embalaje para sala limpia Clase 100 o superior
Antiestático Contenedores a prueba de ESD

Declaración de conformidad
Cumple con SEMI F47-0706 (Componentes cerámicos para equipos semiconductores)

Descargo de responsabilidad
La personalización está disponible a solicitud. Los parámetros críticos marcados con “□” requieren confirmación explícita.

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