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cuarzo fundido, boquillas & inyectores de fluido para semiconductores

Tuguan
agosto 8, 2025

Two clear fused silica linear spray nozzles with multiple precision holes and flat bases

cuarzo fundido, boquillas & inyectores de fluido para semiconductores

Nuestras boquillas y inyectores de fluido de cuarzo fundido, fabricados con precisión, están diseñados para aplicaciones exigentes en semiconductores, ALD/CVD y procesamiento químico. Estos componentes de alta pureza ofrecen excepcional inercia química, estabilidad térmica y entrega precisa de fluidos, asegurando un rendimiento óptimo en entornos críticos.

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Datos necesarios para una cotización

Dibujo (PDF/STEP) o dimensiones clave (OD / ID / Longitud)
Detalles del orificio: diámetro, cantidad, espaciado, posición; estilo de punta; puertos laterales
Entorno operativo: vacío, plasma y químicos; temperatura máxima; comportamiento del flujo objetivo.
Tolerancias críticas y requisitos de acabado de la superficie

Especificaciones clave

Material: Sílice fundida de alta pureza (cuarzo, SiO₂); certificado de material disponible a petición
Geometría: Recto / escalonado / cónico / en forma de L; totalmente personalizado según el dibujo
Dimensiones: Según el dibujo (a medida); espesor de pared uniforme conforme al diseño
Consejos y orificios: Un único o varios orificios, taladrados o grabados con láser; tamaño y espaciado según el dibujo
Características: Conjuntos de perforaciones laterales, puertos laterales, bridas/roscas/collares, tapas finales o extremos hemisféricos (opcional).
Acabado de la superficie: Pulido por llama / rectificado / pulido (OD/ID) según sea necesario; bordes sin rebabas
Rectitud y concentricidad: Según el dibujo; dependiente de la geometría (podemos asesorar tolerancias viables)
Limpieza: Limpieza ultrasónica; empaque compatible con Clase 100; protectores de puntas
Marcado: ID de pieza láser o dirección de flujo a petición

Propiedades del material (típicas)

Alta transmitancia óptica y muy baja expansión térmica
Excelente inercia química frente a ácidos, álcalis y disolventes orgánicos (excepto HF)
Estable ante altas temperaturas y ciclos térmicos
Aislamiento eléctrico y baja desgasificación para procesos limpios

Aplicaciones

Entrega de precursores ALD/CVD y herramientas de plasma. Microreactores e instrumentación analítica, dosificación precisa de productos químicos en vacío o en entornos de altas temperaturas.

Notas de procesamiento y diseño

Orificios producidos mediante perforación/grabado láser; bordes sin rebabas ni astillas
Recocido de alivio de tensiones y limpieza ácida disponibles
Se recomiendan radios de redondeo en transiciones agudas para reducir la concentración de esfuerzos
Concentricidad/rectitud controladas según el dibujo; consejos prácticos sobre tolerancias disponibles

Inspección y ensayos

Inspección dimensional: diámetro exterior/diámetro interior/longitud; tamaño y espaciado de los orificios
Pruebas opcionales: prueba de fuga de helio (para ensamblajes al vacío), verificación de caudal y comprobación de la birefringencia y del estrés.
Inspección visual al 100% de astillas, grietas y contaminación

Embalaje y almacenamiento

Empaque antiestático, sellado al vacío con espuma amortiguadora y protección de la punta. Conservar en un entorno seco (<40% RH) a 10–30 °C.

Notas
Configuraciones personalizadas (patrones de perforación, recubrimientos o marcas adicionales) disponibles bajo pedido.
Certificados de conformidad (RoHS, ISO 9001) incluidos en pedidos al por mayor

Consulta rápida

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