Bandejas, bases y barcos de cuarzo fundido para el procesamiento de obleas

  • Long, clear fused silica tray with multiple precision-drilled holes, next to a caliper

    • Bandejas, bases y barcos de cuarzo fundido para el procesamiento de obleas

    Bandejas, bases y barcos de cuarzo fundido a medida, diseñados para el manejo de obleas en bancos húmedos, grabado, CVD/difusión, limpieza y procesos de alta temperatura. Fabricados de sílice fundido de alta pureza y mecanizados con precisión según su dibujo, estos portadores ofrecen una estabilidad térmica excepcional, inercia química, superficies de contacto suaves y un rendimiento limpio en entornos críticos.

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    Datos necesarios para una cotización

    • Dibujo (PDF/STEP) o dimensiones clave (Longitud × Anchura × Altura, espesor de la pared)
    • Tamaño y capacidad de oblea (disposición de ranuras, bolsillos y postes, paso, espaciado)
    • Características requeridas: orificios de drenaje, rebordes de desbordamiento, nervios, manijas, pies/espaciadores, tapas/cubiertas, marcas de identificación.
    • Requisitos de aristas y acabado de la superficie (chaflán/bisel, superficies lijadas o pulidas)
    • Entorno operativo (químicos, banco húmedo/proceso térmico), temperatura máxima y nivel de limpieza objetivo
    • Tolerancias críticas y metas de planitud/paralelismo
    • Cantidad (prototipo o lote), informes de inspección necesarios y nivel de embalaje

    Especificaciones clave

    • Material: cuarzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado del material disponible a petición
    • Geometría: Bandejas rectangulares, ovaladas o redondas, bases y cubetas para obleas; ranuras integradas, cavidades, postes o nervios según el dibujo.
    • Dimensiones: Según el dibujo (fabricado a medida). Espesor de pared uniforme y secciones reforzadas según se requiera.
    • Acabado de la superficie: Rebordes pulidos por llama. Superficies internas lijadas o pulidas para minimizar la generación de partículas; bordes desbarbados y filletes suaves.
    • Características de ranuras y postes Conteo y espaciado personalizados de ranuras, profundidad del bolsillo, diámetro/altura de los postes; esquinas redondeadas para proteger las obleas
    • Drenaje y flujo: Agujeros de drenaje, ranuras o vertederos de desbordamiento diseñados para un intercambio químico eficiente y secado.
    • Características de manejo: Empuñaduras, muescas de alineación y pies/soportes para una colocación estable. Marcas opcionales de identificación por láser y de flujo.
    • Construcción: Mecanizado de precisión y conjuntos fusionados por llama; recocido para alivio de tensiones disponible
    • Limpieza: Enjuague ultrasónico/DI; empaque compatible con Clase 100

    Propiedades del material (típicas)

    • Alta pureza y baja desgasificación para uso en sala limpia
    • Excelente resistencia química a la mayoría de los ácidos y álcalis y disolventes orgánicos. Nota: el cuarzo fundido no es resistente al HF
    • Muy baja expansión térmica, buena tolerancia a los choques térmicos y estabilidad a altas temperaturas.
    • Aislamiento eléctrico y alta calidad de superficie

    Notas de procesamiento y diseño

    • Prefiera un espesor de pared constante y radios internos generosos para reducir tensiones y trampas de partículas
    • Costillas inferiores o marcos pueden mejorar la rigidez y la planitud para formatos grandes
    • El acabado de la superficie (rectificado frente a pulido) se selecciona en función de la limpieza del proceso y de las necesidades de manejo.
    • Podemos asesorar tolerancias prácticas para la uniformidad de la ranura y del paso, la planitud y el paralelismo, basándonos en el tamaño y la geometría.

    Inspección y ensayos

    • Inspección dimensional: longitud, anchura y altura; paso de ranuras y postes y su altura. Profundidad del bolsillo; planitud y paralelismo
    • Inspección visual: 100% revisión de astillas, grietas, inclusiones y contaminación
    • Opcional: verificación de birrefringencia/estrés. Verificación del acabado superficial y informe de verificación de limpieza.

    Aplicaciones

    Limpieza y grabado de obleas, procesamiento en banco húmedo. Carga por lotes para CVD/difusión/recocido, transporte y almacenamiento temporal de obleas, y procesamiento químico de precisión

    Embalaje y almacenamiento

    Embalaje antiestático, sellado al vacío, con espuma amortiguadora de golpes y protección externa rígida. Conservar en seco (<40% RH) a 10–30 °C; mantener alejado de productos químicos que contengan HF durante el almacenamiento.

    Notas
    Configuraciones personalizadas (patrones de perforación, recubrimientos o marcas adicionales) disponibles bajo pedido.
    Certificados de conformidad (RoHS, ISO 9001) incluidos en pedidos al por mayor

    Consulta rápida

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