Anillos de cuarzo fundido y componentes de proceso

  • White gloved hand holding a semi-transparent Fused Quartz ring with a double-grooved profile
  • Semi-transparent Fused Quartz ring plate with multiple clear cylindrical supports and a central opening
  • Semi-transparent Fused Quartz ring plate with a large central opening and outer edge cutouts

    • Anillos de cuarzo fundido y componentes de proceso

    anillos de cuarzo fundido y componentes de proceso diseñados para aplicaciones en semiconductores, grabado por plasma y vacío. Mecanizados a partir de sílice fundida de alta pureza según sus planos, estos componentes ofrecen una excelente estabilidad térmica, inercia química y un control dimensional preciso — ideales para sellado, espaciado, blindaje y manejo en entornos de alta temperatura y corrosivos.

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    Datos necesarios para una cotización

    • Dibujo (PDF/STEP) o dimensiones clave: OD / ID / espesor. Cualquier escalón, labio o saliente.
    • Función e interfaz: ancho y acabado de la huella de sellado. Espacio entre el anillo y la pieza y piezas de acoplamiento (tubo, placa, puerta, mordaza).
    • Características: patrón de tornillos (BCD, cantidad de orificios), avellanados/rebordeados, muescas/llaves de alineación, orificios de ventilación, ranuras para junta tórica
    • Elementos opcionales: separadores/postes, bolsillos, geometría de sombra y labio, escudos contra salpicaduras, ID de la pieza láser/marca de orientación
    • Condiciones de operación: nivel de vacío / presión, plasma/química, temperatura máxima, objetivo de limpieza.
    • Tolorancias críticas: planitud, paralelismo, concentricidad/desviación circular. Calidad de superficie requerida en las caras funcionales.
    • Cantidad (prototipo o lote), informes de inspección necesarios, nivel de embalaje

    Especificaciones clave

    • Material: cuarzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado del material disponible a petición
    • Geometría: Anillos planos, anillos escalonados/de doble labio, placas en forma de dona con aberturas, anillos con separadores/postes o escudos integrados; ensamblajes monolíticos o fusionados por llama
    • Dimensiones: Conforme al dibujo (hecho a medida); espesor uniforme de la sección para la estabilidad térmica
    • Bordes y superficies: rebordes pulidos por llama; superficies de sellado y de observación pulidas; radios suaves para minimizar la generación de partículas
    • Montaje y alineación: Círculos de pernos precisos, avellanados/contrabiselados, características de pasadores; marcado láser opcional
    • Limpieza: Limpieza ultrasónica/DI; embalaje compatible con Class-100
    • Variante: Cuarzo fundido opaco (OP) disponible cuando se requiere protección térmica adicional

    Propiedades del material (típicas)

    • Muy baja expansión térmica, buena tolerancia al choque térmico
    • Excelente resistencia química frente a la mayoría de los medios de proceso (nota: HF ataca al cuarzo fundido)
    • Aislante eléctrico, con bajo desgasado; ópticamente limpio cuando se necesita transparencia.

    Notas de procesamiento y diseño

    • Definir el ancho y el acabado de la zona de sellado y cualquier geometría de la ranura para junta tórica para alcanzar la tasa de fuga objetivo
    • Ventile orificios ciegos o roscados expuestos al vacío para evitar fugas virtuales
    • Mantenga uniforme el espesor de la pared y utilice radios internos generosos para reducir el estrés
    • Los espaciadores y postes mejoran el espaciado y el flujo de aire. Especifique la altura/diámetro y el acabado de la punta.
    • Podemos asesorar tolerancias viables para la planicidad, el paralelismo, la concentricidad y el runout basadas en el tamaño y la geometría

    Inspección y ensayos

    • Verificación dimensional: OD/ID/thickness, step heights/widths, bolt circle, hole Ø/positions; post/standoff height
    • Comprobación de la planitud y la paralelidad de las superficies de sellado y de referencia; desviación respecto al datum
    • 100% inspección visual de astillas, microfisuras, inclusiones y contaminación
    • Opcional: prueba de fuga de helio (ensamblaje), verificación del acabado superficial, evaluación de la birrefringencia y de la tensión, informe de limpieza

    Aplicaciones

    Anillos de sellado para extremos de hornos y tubos y puertas de vacío, anillos espaciadores y de soporte, escudos contra salpicaduras y partículas, anillos de alineación y manejo. Placas protectoras en forma de anillo para grabado, CVD/PECVD, difusión/oxidación, banco húmedo y subsistemas de metrología.

    Embalaje y almacenamiento

    Protecciones de borde y separadores; empaque antiestático, sellado al vacío con protección externa rígida. Conservar en seco (<40% HR) a 10–30 °C y lejos de productos químicos que contengan HF.

    Notas
    Configuraciones personalizadas (patrones de perforación, recubrimientos o marcas adicionales) disponibles bajo pedido.
    Certificados de conformidad (RoHS, ISO 9001) incluidos en pedidos al por mayor

    Consulta rápida

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