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Boquillas y componentes fluídicos
Boquillas de cuarzo fundido, cabezas de pulverización, inyectores, difusores y colectores fluidos diseñados para herramientas de semiconductores, ALD/CVD, bancos húmedos y sistemas químicos/de laboratorio. Construidos a partir de sílice fundida de alta pureza y mecanizados con precisión según su dibujo, estas piezas proporcionan una excelente inercia química, estabilidad térmica y una entrega limpia y precisa de gases y líquidos en vacío y entornos de alta temperatura.
Datos necesarios para una cotización
- Dibujo (PDF/STEP) o dimensiones clave: tamaño del cuerpo, espesor de la pared, ubicaciones de los puertos
- Medio y objetivos: gas/líquido, rango de caudal, presión/vacío, estilo cono de pulverización o chorro
- Detalles del orificio: diámetro, cantidad, espaciado, posición; orificio único o múltiples orificios; difusor interno / sparger si es necesario
- Detalles del colector/canal (si aplica): disposición, forma de la sección transversal, zonas de mezcla, límites de volumen muerto
- Tipos de conexiones: extremos roscados, conectores de manguera, conectores de compresión, bridas KF/ISO o adaptadores personalizados
- Tolerancias críticas y acabado superficial de las áreas humectadas; nivel de limpieza
- Cantidad (prototipo o lote), informes de inspección, nivel de embalaje
Especificaciones clave
- Material: cuarzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado del material disponible a petición
- Tipos: Boquillas/inyectores, cabezas de pulverización, difusores/spargers, colectores de distribución, microreactor o bloques de mezcla
- Dimensiones: Conforme al dibujo (fabricación a medida) con espesor de pared uniforme para la estabilidad térmica
- Orificios y Pasajes Perforación láser o grabado; matrices de orificios simples o múltiples; geometría del canal según el diseño.
- Conexiones: Roscas, conexiones con cuello (barbs), interfaces de compresión o de brida; características de alineación y la identificación de la pieza láser a petición
- Acabado de la superficie: Bordes pulidos por llama; superficies mojadas o pulidas para minimizar la generación de partículas
- Construcción: Mecanizado de precisión con uniones fusionadas por llama. Placas de cubierta adheridas opcionales para diseños de colectores
- Limpieza: Limpieza ultrasónica/DI; embalaje compatible con Class-100
- Nota de servicio: Diseñado para servicio de vacío o a baja presión. Cualquier clasificación de presión depende del diseño y de las pruebas.
Propiedades del material (típicas)
- Excelente resistencia química a la mayoría de los ácidos, bases y disolventes orgánicos (nota: el HF ataca al cuarzo fundido)
- Muy baja expansión térmica con alta tolerancia al choque térmico
- Aislamiento eléctrico, con baja desgasificación; superficies ópticamente limpias
Notas de procesamiento y diseño
- Usa radios generosos en las transiciones internas para reducir el estrés y las trampas de partículas
- Mantenga las longitudes de los pasajes y las secciones transversales consistentes para lograr una distribución de caudal uniforme
- Ventile los orificios de ventilación expuestos al vacío para evitar fugas virtuales; indique la tasa de fuga aceptable
- Seleccione los estándares de conexión que coincidan con la plomería aguas abajo. Evite roscas afiladas en secciones delgadas
- Podemos indicar tolerancias prácticas para el tamaño/espaciado del orificio, la concentricidad, la rectitud y el acabado de la superficie basadas en la geometría.
Inspección y ensayos
- Verificación dimensional: tamaño del cuerpo, posiciones de los puertos, tamaño y espaciado de los orificios; geometría de los canales (para colectores).
- Opcional: se realiza una prueba de fugas de helio (ensamblajes al vacío). También se lleva a cabo una prueba de presión/retención según el diseño y una caracterización del caudal
- 100% inspección visual de astillas, microfisuras, inclusiones y contaminación
- Certificados de limpieza y trazabilidad de materiales disponibles
Aplicaciones
Inyección y distribución de gas de proceso, suministro de precursores ALD/CVD. Grabado y enjuague por pulverización, mezcla y dosificación microfluídicas, colectores de vapor y líquido para instrumentos analíticos y líneas químicas de alta pureza.
Embalaje y almacenamiento
Empaque antiestático, sellado al vacío con espuma amortiguadora y tapas protectoras en puertos y orificios. Manténgase en seco (<40% RH) a 10–30 °C; manténgase alejado de productos químicos que contengan HF.
Notas
Configuraciones personalizadas (patrones de perforación, recubrimientos o marcas adicionales) disponibles bajo pedido.
Certificados de conformidad (RoHS, ISO 9001) incluidos en pedidos al por mayor