Agarres de cuarzo fundido y herramientas de manejo de obleas

  • White gloved hand holding a custom-shaped frosted Fused Quartz mechanical gripper.
  • White gloved hand holding a custom-shaped frosted Fused Quartz mechanical gripper.
  • Frosted Fused Quartz handling tool with a wide arch and slotted top section.

    • Agarres de cuarzo fundido y herramientas de manejo de obleas

    Pinzas y efectos finales de cuarzo fundido personalizados, diseñadas para un manejo de obleas ultra limpio y una transferencia precisa de componentes en la automatización de semiconductores y salas limpias. Maquinadas a partir de cuarzo fundido de alta pureza y acabadas para una baja generación de partículas, estas herramientas ofrecen una excelente inercia química, estabilidad térmica y un contacto suave y sin rayas con sustratos sensibles.

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    Datos necesarios para una cotización

    • Se proporciona un dibujo (PDF/STEP) o se indican dimensiones clave. Dimensiones: tamaño total, apertura de la horquilla y anchura de la garganta, anchura del pad de contacto y espesor.
    • Tamaño de la oblea y método de manipulación (manual/robótico), patrón de montaje o interfaz de agarre
    • Requisitos de borde y acabado: chaflán/bisel, superficies de contacto pulidas, textura antideslizante si es necesario
    • Entorno operativo: químicos, temperatura, clase de vacío/sala limpia; necesidades de ESD o bloqueo de luz, si las hay.
    • Tolerancias críticas (planitud, paralelismo, simetría) y deflexión permitida
    • Cantidad (prototipo o lote); informes de inspección y nivel de embalaje

    Especificaciones clave

    • Material: cuarzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado del material disponible a petición
    • Geometría: tenedor en Y / tenedor en U / pala / cuenco / efector final tipo anillo; puede ser de una sola pieza. También puede ensamblarse con nervios para mayor rigidez.
    • Dimensiones: Según el dibujo (hecho a medida); peso equilibrado y centro de gravedad para uso manual o robótico
    • Áreas de contacto: Superficies completamente pulidas y con partículas minimizadas; aristas redondeadas para proteger el borde de la oblea y la muesca
    • Características: Muescas de alineación, cavidades de relieve para rasgos en la cara posterior, ranuras de vacío/recortes, orificios para mango o montaje de robot, rebajes, identificación por láser
    • Acabado de borde y superficie: 【正文】aros pulidos por llama; caras funcionales esmeriladas o pulidas ópticamente; textura microtexturada opcional para un mejor agarre
    • Limpieza: Limpieza ultrasónica/DI; embalaje compatible con Class-100

    Propiedades del material (típicas)

    • Excelente resistencia química (nota: HF ataca al cuarzo fundido)
    • Muy baja expansión térmica y buena tolerancia al choque térmico
    • Aislante eléctrico, con baja emisión de gases. Superficie ópticamente limpia para manipulación sensible a la contaminación.

    Notas de procesamiento y diseño

    • Utilice radios de borde generosos y pads de contacto pulidos para evitar astillado a escala micro y arañazos
    • Mantén la simetría de la horquilla y el ancho de la garganta de forma constante para garantizar un soporte uniforme. Añade nervios donde se necesite rigidez.
    • Proporcione el patrón de montaje o la geometría de la empuñadura compatible con sus herramientas/robots
    • Agregar características de relieve para evitar el contacto con las películas de la cara posterior, protuberancias o fiduciales
    • Podemos indicar tolerancias prácticas para la planicidad, el paralelismo y la deflexión en función del tamaño y la geometría.

    Inspección y ensayos

    • Verificación dimensional: tamaño total, apertura de la horquilla, grosor, patrón de montaje
    • Comprobaciones de planitud y paralelismo en superficies de contacto
    • Inspección visual al 100% de astillas, microgrietas y contaminación. Verificación opcional de birrefringencia y tensión
    • Informe de verificación de limpieza a solicitud

    Aplicaciones

    Carga y descarga manual y robótica de obleas, metrología e inspección, limpieza y transferencia en banco húmedo, operaciones de portador/FOUP/SMIF, manejo de precisión de componentes frágiles de vidrio/cerámica

    Embalaje y almacenamiento

    Protecciones y separadores de la superficie de contacto; empaque antiestático, sellado al vacío con protección externa rígida. Mantenga seco (<40% de humedad relativa) a 10–30 °C y alejado de productos químicos que contengan HF.

    Notas
    Configuraciones personalizadas (patrones de perforación, recubrimientos o marcas adicionales) disponibles bajo pedido.
    Certificados de conformidad (RoHS, ISO 9001) incluidos en pedidos al por mayor

    Consulta rápida

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