Tubos de horno de cuarzo fundido para CVD de semiconductores

  • Large, clear Fused Quartz furnace tube with multiple complex branches and a frosted end.

    • Tubos de horno de cuarzo fundido para CVD de semiconductores

    Nuestros tubos de horno de cuarzo fundido de alta pureza están diseñados a medida para procesos exigentes de obleas semiconductoras, recocido a alta temperatura, CVD y hornos de difusión. Estos tubos robustos resisten hasta 1200°C (pico 1450°C), son resistentes a ácidos y gases corrosivos y ofrecen baja expansión térmica para la estabilidad dimensional en entornos de vacío o de baja presión; se pueden realizar modificaciones personalizadas.

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    Especificaciones del material

    • Material principal: cuarzo fundido (SiO₂ ≥ 99.9%)
    • Densidad 2.2 g/cm³
    • Estabilidad térmica Resiste al choque térmico hasta 1200°C (uso continuo)

    Dimensiones

    • Diámetro exterior: 415 mm / ±1.5 mm
    • Diámetro interior: 405 mm / ±1.0 mm
    • Espesor de la pared: 5 mm / ±0.5 mm
    • Longitud: 2300 mm / ±5 mm

    Parámetros técnicos

    • Temperatura máxima de funcionamiento: 1200°C (pico de corta duración: 1450°C)
    • Resistencia a la presión: Soporta 1 atm (entornos de vacío o de baja presión)
    • Coeficiente de expansión térmica: 0.55 × 10⁻⁶ /°C (20–1000°C)
    • Acabado de la superficie: Liso, no poroso, lavado con ácido

    Características clave

    • Pureza ultra alta para procesos sensibles a la contaminación
    • Excelente resistencia química a ácidos, halógenos y la mayoría de los gases corrosivos
    • Baja expansión térmica garantiza la estabilidad dimensional

    Aplicaciones

    • Procesamiento de obleas semiconductoras
    • Recocido a alta temperatura, hornos CVD o de difusión
    • Investigación de laboratorio e industrias ópticas

    Embalaje y manipulación

    • Embalaje: Caja de madera acolchada con espuma
    • Almacenamiento: Mantén seco, evita la luz solar directa y almacena horizontalmente

    Notas

    • Evite impactos mecánicos o cambios de temperatura rápidos (>200°C/min)
    • Modificaciones personalizadas (p. ej., bridas, recubrimientos) disponibles a petición.

    Para soporte técnico detallado o pedidos al por mayor, consulte a nuestro equipo de ingeniería.

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