Recipientes cerámicos para el procesamiento de semiconductores

  • Precision machined ceramic cylinder with multiple large holes and notched edges.
  • Top-down view of a ceramic cylinder showing internal features and notched rim.
  • Simple, smooth-walled ceramic crucible or cup.
  • Small, spherical ceramic vessel with a wide opening.
  • Short ceramic cylinder with two large circular cutouts.
  • Ceramic cylinder with a stepped outer profile and smooth inner wall.

    • Recipientes cerámicos para el procesamiento de semiconductores

    Vasos cerámicos de precisión hechos a medida, que incluyen crisoles y cilindros, están fabricados con alúmina de alta pureza (Al2O3), zirconia (ZrO2) o nitruro de silicio (Si3N4). Diseñados para entornos exigentes de semiconductores, vacío y grabado por plasma, estos componentes de alto rendimiento ofrecen propiedades térmicas, eléctricas y mecánicas superiores para entornos críticos de alta temperatura.

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    Dimensiones a medida

    • Según el dibujo (tamaños y geometrías personalizadas)

    Propiedades del material

    • Material de base: Al₂O₃ (cerámica de alúmina) / Opcional: ZrO₂, Si₃N₄
    • Densidad ≥3.90 g/cm³
    • Resistencia a la flexión: ≥350 MPa
    • Conductividad térmica: 24-30 W/(m·K)
    • Resistencia dieléctrica: ≥15 kV/mm

    Tolerancia y calidad de la superficie

    • Concentricidad: ≤0.05 mm (DE frente a DI)
    • Paralelismo ≤0.03 mm (superficies superiores e inferiores)
    • Rugosidad de la superficie: Ra ≤0.4 μm

    Pruebas de rendimiento clave

    • Inspección dimensional: Según ISO 286-2
    • Prueba de tasa de fuga ≤1×10⁻⁹ mbar·L/s (Espectrometría de masas de helio)
    • Resistencia al choque térmico: ΔT ≥300°C (5 ciclos, sin grietas)

    Aplicaciones

    • Procesamiento de semiconductores: Cámaras de vacío, componentes de grabado por plasma
    • Entornos de alta temperatura: ≤1600°C (dependiente del material)

    Embalaje y manipulación

    • Embalaje para sala limpia Clase 100 o superior
    • Antiestático Contenedores a prueba de ESD

    Declaración de conformidad
    Cumple con SEMI F47-0706 (Componentes cerámicos para equipos semiconductores)

    Descargo de responsabilidad
    La personalización está disponible a solicitud. Los parámetros críticos marcados con “□” requieren confirmación explícita.

    Consulta rápida

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