6 inch cuarzo fundido soportes de vacío para obleas y discos de sujeción de obleas

  • Clear, square Fused Quartz vacuum suction disc with etched concentric circles and radial lines

    • 6 inch cuarzo fundido soportes de vacío para obleas y discos de sujeción de obleas

    Nuestros chucks de vacío personalizados de alta precisión y discos portadores de obleas de cuarzo fundido están diseñados para aplicaciones exigentes en el manejo de obleas semiconductoras, grabado y otras industrias de alta tecnología. Fabricados con cuarzo fundido de alta pureza, estos componentes garantizan un manejo sin contaminación y sin rayas, ofreciendo una estabilidad térmica excepcional y una inercia química para un rendimiento fiable en entornos de vacío y a altas temperaturas.

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    Material

    • Material base: cuarzo fundido sintético de alta pureza (SiO₂ ≥99.99%)
    • Grado óptico: transparencia UV con bajo contenido de hidroxilo (OH)

    Dimensiones

    • Diámetro :100 mm ±0.05 mm
    • Espesor: 3 mm ±0.05 mm
    • Tratamiento de aristas: chaflán lijado fino ≤0.3 mm

     Propiedades físicas

    • Densidad: 2.2 g/cm³
    • Dureza: Mohs 5.5-6.5
    • Expansión térmica: 0.55 × 10⁻⁶/°C (20-300°C)
    • Punto de ablandamiento: 1683°C

    Propiedades ópticas

    • Rango de transmisión: 190 nm (UV) a 2500 nm (IR)
    • Índice de refracción: 1.458 @ 587.6 nm (nd)
    • Scratch-Dig: 60/40 (MIL-PRF-13830B)
    • Planitud de la superficie: λ/4 @ 632.8 nm

    Especificaciones de la superficie

    • Rugosidad Ra: ≤5 Å (superficies pulidas)
    • Paralelismo : ≤1 arcmin

    Resistencia química

    • Resistente a los ácidos (excepto HF), al agua y a disolventes orgánicos

    Aplicaciones

    • Ventanas ópticas, sistemas láser, litografía UV
    • Procesamiento de semiconductores, puertos de observación a alta temperatura

    Certificaciones y Cumplimiento

    • cumple con RoHS
    • Informes de metrología personalizados disponibles a petición

    Empaque

    • Empacado individualmente en espuma antiestática
    • Enviado en recipientes rígidos a prueba de aplastamiento

    Notas
    Evite golpes mecánicos o contacto directo con objetos afilados
    Limpiar con IPA o acetona usando toallitas sin pelusa
    Para datos técnicos completos o solicitudes personalizadas, contacte email

    Consulta rápida

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