Cubiertas de cúpula y tapas de proceso de cuarzo fundido

  • Assortment of clear and frosted Fused Quartz components, including a large frosted ring with an integrated clear dome, and smaller clear domes and oval rings

    • Cubiertas de cúpula y tapas de proceso de cuarzo fundido

    Cubiertas tipo cúpula y tapas de proceso de cuarzo fundido para herramientas semiconductoras de alta pureza, conjuntos ópticos y cámaras de alta temperatura. Fabricadas en cuarzo fundido de alta pureza con bordes lisos sin astillas, ofrecen estabilidad térmica excepcional, inercia química y un ajuste preciso, proporcionando visibilidad clara, sellado fiable y protección en entornos sensibles.

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    Datos necesarios para una cotización

    • Proporcione plano (PDF/STEP) o dimensiones clave: diámetro exterior, diámetro/anchura de la brida, altura de flecha (radio de curvatura), espesor de pared.
    • Estilo de cúpula: hemisférica, poco profunda/ancha o en menisco; con o sin brida o anillo; zona de visualización transparente o esmerilada.
    • Interfaz de sellado: dimensiones/posición de la ranura para junta tórica, ancho/acabado de la zona de sellado, superficie de acoplamiento y patrón de pernos si procede.
    • Necesidades ópticas (si procede): nivel de pulido en el área de visualización, objetivo scratch-dig, planitud/curvatura/irregularidad de la superficie.
    • Indicar las condiciones de operación, incluyendo vacío/presión admisible, gases/procesos químicos, temperatura máxima y ciclos térmicos, y el nivel de limpieza requerido.
    • Las tolerancias críticas incluyen runout/excentricidad, paralelismo/planitud de la brida, uniformidad de espesor y tolerancia del perfil de la cúpula.
    • Cantidad (prototipo o lote), informes de inspección requeridos y nivel de embalaje

    Especificaciones clave

    • Material: Cuarzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado del material disponible bajo petición. Opcionalmente, cuarzo fundido de grado UV para transmisión en el UV profundo.
    • Geometría: Cúpulas hemisféricas o poco profundas; cúpulas con bridas/anillos integrados; tapas con apertura circular o personalizada; ensamblajes monolíticos o fusionados a llama.
    • Superficies: Zonas de visualización pulidas ópticamente; superficies de sellado rectificadas/pulidas; áreas opcionales esmeriladas/grabadas para difundir la luz.
    • Bordes: Bordes pulidos al fuego y radios generosos para minimizar la generación de partículas y el desconchado.
    • Limpieza: Limpieza ultrasónica/agua desionizada; embalaje compatible con Class-100
    • Nota de servicio: Normalmente para vacío o baja presión positiva. Cualquier clasificación de presión depende del diseño y de las pruebas.

    Propiedades del material (típicas)

    • Muy baja expansión térmica y buena tolerancia al choque térmico
    • Excelente resistencia química frente a la mayoría de los medios de proceso (nota: HF ataca al cuarzo fundido)
    • Aislante eléctrico con baja emisión de gases; alta claridad óptica desde UV hasta IR (según grado).

    Notas de procesamiento y diseño

    • Defina si el radio de la cúpula se referencia a la superficie interior o exterior; mantenga el espesor de la pared uniforme para reducir tensiones.
    • Especifique el pulido del área de visión y cualquier especificación óptica (p. ej., scratch-dig 60-40 o mejor) solo donde sea necesario para controlar el coste
    • Añada ventilación a las características ciegas (orificios para pernos/contra-alésagos) expuestas al vacío para evitar fugas virtuales.
    • Utilice sellos y abrazaderas flexibles y permita la dilatación térmica para evitar tensiones durante los ciclos térmicos.
    • Podemos recomendar tolerancias viables para la altura del perfil o del hundimiento, la planitud/paralelismo de la brida, la concentricidad y el runout en función del tamaño.

    Inspección y ensayos

    • Verificación dimensional: OD, geometría de la brida, altura/radio de flecha, espesor, tamaño/posición de la ranura y ubicaciones del círculo de pernos.
    • Comprobaciones de planitud/parallelismo en asientos de sellado; perfil de cúpula y descentrado respecto al datum
    • Inspección óptica del área de visualización (calidad de pulido, defectos) según especificado
    • Inspección visual al 100% para astillas, microgrietas, inclusiones y contaminación. Informes opcionales de limpieza y de birefringencia/estrés.

    Aplicaciones

    Realizamos la inspección y el mecanizado de tapas para etch/CVD/RTP y cámaras de vacío, ventanas ópticas y carcasas de lámparas, protección contra salpicaduras/partículas y cubiertas de reactores de alta temperatura.

    Embalaje y almacenamiento

    Protecciones de bordes y películas protectoras sobre las zonas de visualización/estanqueidad; embalaje antiestático, sellado al vacío con protección exterior rígida. Conservar seco (<40% RH) a 10–30 °C y alejado de productos químicos que contengan HF.

    Notas
    Configuraciones personalizadas (patrones de perforación, recubrimientos o marcas adicionales) disponibles bajo pedido.
    Certificados de conformidad (RoHS, ISO 9001) incluidos en pedidos al por mayor

    Consulta rápida

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