cuarzo fundido espaciadores de obleas y varillas apiladoras

  • Multiple clear Fused Quartz cylindrical shafts with precise spiral grooves, designed for wafer stacking.

    • cuarzo fundido espaciadores de obleas y varillas apiladoras

    Espaciadores de obleas de cuarzo fundido y varillas de apilamiento diseñados para la separación de obleas, el secado y la manipulación por lotes en cabinas húmedas, hornos de difusión y procesos a alta temperatura. Fabricados con sílice fundida de alta pureza y diseñados para una baja generación de partículas, estos componentes mantienen las obleas espaciadas de forma uniforme, evitan arañazos y ofrecen un rendimiento limpio y térmicamente estable en entornos críticos.

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    Datos necesarios para una cotización

    • Dibujo (PDF/STEP) o dimensiones clave: diámetro de la varilla/barra o ancho × longitud; paso de ranura/serración, anchura y profundidad; anchura de la huella de contacto
    • Tamaño de la oblea y espaciado objetivo (número de obleas por varilla, altura total de la pila)
    • Características finales: tenón/hombro de diámetro reducido, superficies planas y anti-rotación, agujeros transversales, roscas o ranuras de montaje
    • Acabado de la superficie en las áreas de contacto (pulido frente a lijado), radios de arista y chaflanes para proteger los bordes de las obleas
    • Entorno operativo: químicos (químicas de bancada húmeda). Perfil de vacío/temperatura y nivel de limpieza.
    • Tolerancias críticas: uniformidad del paso de las ranuras, rectitud/concentricidad, deflexión permitida bajo carga.
    • Cantidad (prototipo o lote), informes de inspección requeridos, nivel de embalaje

    Especificaciones clave

    • Material: cuarzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado del material disponible a petición
    • Geometría: Varillas redondas o barras planas con ranuras o estrías mecanizadas. Espaciadores opcionales, topes o superficies de alineación; ensamblajes de una sola pieza o fusionados por llama
    • Dimensiones: Dibujo a medida con espesor uniforme para estabilidad térmica
    • Superficies de contacto: Superficies pulidas y cantos con radio para minimizar microastilladuras y arañazos
    • Extremo y opciones de montaje: Espigas/hombros para marcos, extremos con rosca o con orificio pasante, planos antirotación, identificación de la pieza por láser a petición.
    • Limpieza: Limpieza ultrasónica/DI; embalaje compatible con Class-100

    Propiedades del material (típicas)

    • Muy baja expansión térmica y buena tolerancia al choque térmico
    • Excelente resistencia química frente a la mayoría de los medios de proceso (nota: HF ataca al cuarzo fundido)
    • Aislamiento eléctrico, con baja desgasificación; superficies ópticamente limpias

    Notas de procesamiento y diseño

    • Ajusta el radio de la ranura y el ancho de la zona de contacto a la geometría del borde del wafer. Evita transiciones bruscas.
    • Mantenga el paso de las ranuras uniforme para garantizar un espaciado y un flujo de aire y de enjuague constantes; añada alivios de drenaje cuando sea necesario.
    • Especifica la deflexión permitida bajo carga total. Usa una sección mayor o nervios si la rigidez es crítica.
    • Ventile todos los orificios ciegos utilizados en herramientas sometidas a vacío para evitar fugas virtuales
    • Recocido de alivio de tensiones y pulido de bordes recomendados para una larga vida en ciclos térmicos

    Inspección y ensayos

    • Verificación dimensional: diámetro y longitud de la varilla, paso/ancho/profundidad de la ranura, tamaños y posiciones de las características finales.
    • Comprobaciones de rectitud/concentricidad y deflexión bajo carga representativa
    • 100% inspección visual de astillas, microfisuras, inclusiones y contaminación
    • Opcional: certificación de limpieza, evaluación de birefringencia/estrés

    Aplicaciones

    Apilado y separación de obleas en cabinas húmedas, hornos de difusión/oxidación/horneado, dispositivos de secado y transporte, estanterías de almacenamiento temporales y manejo de precisión en líneas de alta pureza

    Embalaje y almacenamiento

    Protecciones y separadores de la superficie de contacto; empaque antiestático, sellado al vacío con protección externa rígida. Mantenga seco (<40% de humedad relativa) a 10–30 °C y alejado de productos químicos que contengan HF.

    Notas
    Configuraciones personalizadas (patrones de perforación, recubrimientos o marcas adicionales) disponibles bajo pedido.
    Certificados de conformidad (RoHS, ISO 9001) incluidos en pedidos al por mayor

    Consulta rápida

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