Soportes de cuarzo fundido y portaherramientas de proceso

  • Clear Fused Quartz support frame with multiple angled bars and flat mounting points, held by a gloved hand

    • Soportes de cuarzo fundido y portaherramientas de proceso

    El cuarzo fundido ofrece soportes, marcos y portadores diseñados para el procesamiento de obleas, CVD, herramientas de plasma, bancos húmedos y hornos de alta temperatura. Construidos con sílice fundida de alta pureza y ensamblados mediante fusión por llama de precisión, estos accesorios brindan una excelente estabilidad térmica, inercia química y un control dimensional preciso, proporcionando un soporte limpio y estable y un manejo fiable en entornos críticos.

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    Datos necesarios para una cotización

    • Dibujo (PDF/STEP) o dimensiones clave: tamaño general, diámetro del riel o de la barra, altura de separación, puntos de interfaz
    • Carga útil e interfaz: tamaño/peso de la pieza a sujetar (wafer/boat/substrate). Número de puntos de contacto y holguras objetivo
    • Modo de uso: soporte estático frente a manejo por transferencia/robot; patrón de montaje o diseño de gancho/pie
    • Ambiente: productos químicos, vacío/presión, temperatura máxima y perfil de ciclo térmico
    • Superficie y contacto: almohadillas pulidas frente a un acabado desbastado; radios de arista y chaflanes para evitar arañazos
    • Tolerancias críticas: planitud/rectitud, paralelismo, deflexión permitida bajo carga
    • Cantidad (prototipo o lote), informes de inspección requeridos, nivel de empaque/limpieza

    Especificaciones clave

    • Material: cuarzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado del material disponible a petición
    • Geometría: Marcos, bastidores, cunas, portadores, soportes y refuerzos cruzados. Ensamblajes monolíticos o de cuarzo fundido por llama
    • Dimensiones: Dibujo a medida con espesor uniforme para estabilidad térmica
    • Características: Espaciadores/pies, rieles, languettes/ganchos, claves de alineación o espigas, cavidades aligeradoras, orificios de drenaje/ventilación
    • Construcción: Mecanizado de precisión con uniones lisas y sin virutas. El recocido para alivio de tensiones está disponible.
    • Acabado de la superficie: Bordes pulidos por llama; pads de contacto pulidos para un manejo sin rayaduras; radios desbarbados en todos los puntos de contacto
    • Limpieza: Limpieza ultrasónica/DI; empaque compatible con Class-100; ID de la pieza láser opcional / marca de orientación

    Propiedades del material (típicas)

    • Muy baja expansión térmica y buena tolerancia al choque térmico
    • Excelente resistencia química frente a la mayoría de los medios de proceso (nota: HF ataca al cuarzo fundido)
    • Aislante eléctricamente, con bajo desprendimiento de gases; superficies limpias ópticamente para herramientas sensibles a la contaminación.

    Notas de procesamiento y diseño

    • Mantenga uniforme el espesor de la pared y de la varilla y aplique radios de curvatura generosos en las juntas para minimizar la concentración de tensiones
    • Definir el tamaño/acabado de la almohadilla de contacto y la holgura permitida con la carga útil para evitar microchips y trampas de partículas
    • Utilice refuerzos cruzados o nervios cuando la rigidez y la baja deflexión sean críticas; especifique la deflexión objetivo bajo carga
    • Ventile cavidades o agujeros ciegos expuestos al vacío para evitar fugas virtuales
    • Podemos asesorar tolerancias prácticas para la planitud, la cuadratura, el paralelismo y la desviación de carrera en función del tamaño, de la geometría y de la carga

    Inspección y ensayos

    • Verificación dimensional: tamaño general, altura de separación, espaciado entre rieles y varillas, posiciones de orificios; verificaciones de cuadratura y paralelismo
    • Inspección visual: verificación al 100% de astillas, microfisuras, inclusiones y contaminación.
    • Opcional: evaluación de birrefringencia/tensión; ensayo de carga/deflexión; informe de limpieza

    Aplicaciones

    Barco de obleas y soportes de sustrato, marcos de la zona caliente del horno, estanterías y portacargas de banco húmedo, dispositivos de transferencia para manejo robótico o manual, y dispositivos de alineación y espaciado en herramientas de CVD/etch/clean.

    Embalaje y almacenamiento

    Tapas protectoras en los extremos de contacto, guardas de borde y separadores; empaque antielectrostático, al vacío, con protección externa rígida. Conservar seco (<40% RH) a 10–30 °C y alejado de productos químicos que contengan HF.

    Notas
    Configuraciones personalizadas (patrones de perforación, recubrimientos o marcas adicionales) disponibles bajo pedido.
    Certificados de conformidad (RoHS, ISO 9001) incluidos en pedidos al por mayor

    Consulta rápida

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