Anillos de soporte de cuarzo fundido de precisión y componentes de proceso

  • Large, semi-transparent Fused Quartz ring with internal radial support fins and a central opening.
  • Two Fused Quartz support rings, one larger with internal fins, one smaller with cylindrical internal supports.

    • Anillos de soporte de cuarzo fundido de precisión y componentes de proceso

    Anillos de soporte de cuarzo fundido y componentes de proceso diseñados para la fabricación de semiconductores, grabado por plasma y otros entornos de alta temperatura y alta pureza. Mecanizados a partir de sílice fundida de alta pureza y optimizados para la rigidez y el flujo, estas piezas proporcionan una excelente estabilidad térmica, inercia química y control dimensional preciso—garantizando un soporte confiable, espaciado y flujo del proceso.

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    Datos necesarios para una cotización

    • Dibujo (PDF/STEP) o dimensiones clave: OD / ID / espesor. Cualquier escalón, labio o saliente.
    • Función e interfaz: piezas acopladas (mandril/placa/tubo). Espacio objetivo entre el anillo y la pieza, y zonas de sellado y de asentamiento
    • Características: círculo de pernos y tamaño/cantidad de agujeros; avellanado / reborde cilíndrico; llaves de alineación / muescas; agujeros de ventilación y drenaje
    • Detalles de flujo y rigidez: nervaduras, ranuras y distanciadores (altura/espaciado). Bolsillos para reducción de peso y requisitos de la ruta de flujo de aire.
    • Condiciones de operación: vacío/química de plasma, temperatura máxima, objetivo de limpieza
    • Tolerancias críticas: planitud, paralelismo y concentricidad/desviación de carrera. Acabado superficial de las superficies funcionales.
    • Cantidad (prototipo o lote), informes de inspección requeridos, nivel de embalaje

    Especificaciones clave

    • Material: Cuarzo fundido de alta pureza (SiO₂); certificado de material disponible a solicitud
    • Geometría: Anillos planos o escalonados; estilos de doble labio o borde; anillos con nervios/ranuras/distanciadores; placas en forma de dona con aberturas; ensamblajes monolíticos o fusionados por llama
    • Dimensiones: Dibujo a medida con espesor uniforme para estabilidad térmica
    • Características de Flujo y Soporte Costillas radiales y ranuras longitudinales para un flujo de gas controlado y rigidez. Orificios de ventilación espaciados de forma uniforme para evitar fugas virtuales y mejorar la eficiencia de la purga.
    • Bordes y superficies: bordes pulidos al fuego; caras funcionales desbastadas y pulidas; radios suaves para minimizar la generación de partículas
    • Alineación y montaje: Patrones de tornillos precisos, avellanados y orificios de mayor diámetro; características de clavijas. Identificación por láser de la pieza y marca de orientación opcional.
    • Variante: cuarzo fundido opaco (OP) disponible donde se necesita blindaje térmico adicional
    • Limpieza: Limpieza ultrasónica/DI; embalaje compatible con Class-100

    Propiedades del material (típicas)

    • Muy baja expansión térmica y buena tolerancia al choque térmico
    • Excelente resistencia química frente a la mayoría de los medios de proceso (nota: HF ataca al cuarzo fundido)
    • Aislante eléctrico, con bajo desprendimiento de gases; ópticamente limpio donde se requiere transparencia

    Notas de procesamiento y diseño

    • Mantenga el espesor de la pared uniforme y use radios internos generosos para reducir la concentración de esfuerzos.
    • Defina el ancho de la zona de apoyo/acabado y cualquier geometría de la ranura para junta tórica para lograr la tasa de fuga deseada si se usa para sellado
    • Agujeros de ventilación ciegos/roscas expuestos al vacío para evitar fugas virtuales
    • Las costillas/distanciadores mejoran la rigidez y el espaciado—especifique la altura, el grosor y el espaciado; agregue cavidades de reducción de peso cuando la masa sea un problema
    • Podemos asesorar tolerancias viables para la planicidad, el paralelismo, la concentricidad y el runout basadas en el tamaño y la geometría

    Inspección y ensayos

    • Verificación dimensional: diámetro externo/diámetro interno y espesor, alturas y anchos de escalones. Espaciado entre nervios y ranuras, círculo de tornillos y posiciones de agujeros.
    • Comprobaciones de planitud y paralelismo en las caras de referencia y de sellado; desviación radial respecto al dato
    • 100% inspección visual de astillas, microfisuras, inclusiones y contaminación
    • Opcional: prueba de fuga de helio (ensamblaje), verificación del acabado superficial, evaluación de la birrefringencia y de la tensión, informe de limpieza

    Aplicaciones

    Anillos de soporte y espaciadores en mordazas/placas, anillos de acondicionamiento de flujo y purga para herramientas de plasma/CVD, pantallas anti salpicaduras/partículas, anillos de alineación y manejo para portadores de obleas/procesos en entornos de alta temperatura o corrosivos

    Embalaje y almacenamiento

    Protecciones de borde y separadores; embalaje antiestático, sellado al vacío con protección externa rígida. Conserve seco (<40% RH) a 10–30 °C; mantenga alejado de productos químicos que contengan HF.

    Notas
    Configuraciones personalizadas (patrones de perforación, recubrimientos o marcas adicionales) disponibles bajo pedido.
    Certificados de conformidad (RoHS, ISO 9001) incluidos en pedidos al por mayor

    Consulta rápida

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